Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150 #9293753 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION M 150
ID: 9293753
Photostabilizer.
AXCELIS/FUSION M 150 ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für hohe Durchsätze und große Substrate. Es ist in der Lage, hohe Auflösung, geringe Verzerrung, Gleichmäßigkeit und geringe Defektivität für eine Vielzahl von Anwendungen von ultra-hochpräzisen Halbleitermaskenbildung zu großflächigen Flachbildschirmen bereitzustellen. FUSION M 150 ist mit einer fortschrittlichen Elektronenstrahlquelle ausgestattet, die eine breite Palette von Bühnengrößen ermöglicht (von 300mm bis 1200mm) und Substratkonfigurationen, mit einer branchenführenden Flugzeit von 150 ns. Die Elektronenstrahlquelle liefert eine extrem stabile, wiederholbare Leistung in einem ultra-niedrigen Leistungsbereich, wodurch sie ideal für Anwendungen ist, die feinere Linien- und Kontaktgeometrien erfordern. Das System ist hochgradig anpassbar und konfigurierbar, sodass Benutzer die beste Konfiguration und Einrichtung auswählen können, um den Anforderungen ihrer Anwendungen gerecht zu werden. Darüber hinaus ermöglicht die Flexibilität des Geräts dem Anwender die Auswahl aus einer Vielzahl von Steuerungsanwendungen, einschließlich automatischer Merkmalserkennung, Simulation und Optimierung. AXCELIS M150 ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafermaterialien und Photomasken zu unterstützen, darunter große Aperturmasken und hochdichte Retikel. Darüber hinaus kann es auch Funktionsgrößen bis zu 0,1 Mikron unterstützen. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Diagnosefunktionen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, die Leistung ihres Werkzeugs zu überwachen und die Prozessparameter zu optimieren. Dies hilft, eine überlegene Prozesskontrolle und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet FUSION M150 eine Reihe weiterer Funktionen, die zu seinem zuverlässigen Betrieb beitragen. Hochgeschwindigkeitsdatenaustausch und Netzwerkfunktionen ermöglichen eine einfache Bedienung und Unterstützung der Integration mit einer Vielzahl von Peripheriegeräten wie Waferausrichtungssoftware, Prozessoroptimierungstools und mehr. M150 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von hochwertigen fortschrittlichen Photomasken und Schützen bis hin zu ungesättigten Substraten für ultragroße Oberflächen. Darüber hinaus ist die Kombination aus fortschrittlichen Funktionen und zuverlässiger Leistung eine Top-Wahl für die Produktion von High-End-Halbleiterbauelementen und großflächigen Displays.
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