Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #293619554 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION M 150PC
ID: 293619554
Wafergröße: `6"
Weinlese: 2010
Photo stabilizer, 6" 2010 vintage.
AXCELIS/FUSION M 150PC ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das für die anspruchsvollsten Anwendungen im Bereich der Mikroelektronik entwickelt wurde. Das System bietet außergewöhnliche Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit durch fortschrittliche Technologie, Design und Automatisierung. Das Gerät wird von einer Hochleistungsstrahlquelle mit fortschrittlicher Optik angetrieben, um eine Reihe von sehr gleichmäßigen Energie- und Dosiswerten zu gewährleisten. Fünfachsige XYZ Roboterarme bieten die präziseste und zuverlässigste Probenlieferung, ohne auf Geschwindigkeit und Genauigkeit zu verzichten. Diese Maschine verfügt auch über einen kostengünstigen Sub-Mikron-Stepper mit ultraschneller Prozessionsgeschwindigkeit von 6ns, genauen Dosiswerten +/- 0,25%, langwelligen Belichtungswellenlängen von tiefem UV-Licht sowie einem hohen Durchsatz dank eines vollautomatischen Online-Filmsteuerungs- und Belichtungsoptimierungsmoduls. FUSION M150PC bietet Präzision und Geschwindigkeit bei niedrigen Betriebskosten. Mit seiner robusten und intuitiven Benutzeroberfläche ist das Tool flexibel genug, um eine Vielzahl von Prozessen zu unterstützen. Es bietet eine hochgenaue Dosis- und Belichtungssteuerung mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1%. Das Asset ist ferner mit integrierten Auflösungs- und Driftkompensationsalgorithmen für eine bessere Prozesssteuerung sowie einstellbaren Prozessfenstern für automatisiertes Wafer-Handling und On-the-Fly-Rezepte ausgestattet. Aufgrund seiner schnellen Wafer-Zykluszeiten nutzt das AXCELIS M 150 PC-Modell Ressourcen effizient, um eine hervorragende Produktivität zu bieten, und bietet gleichzeitig konsistente und zuverlässige Ergebnisse mit erhöhtem Ertrag. Der Einsatz von Echtzeit-Prozess-Feedback unterstützt die Geräte auch bei der Gewährleistung langfristiger Prozessstabilität. Das System ist CE-, EMA- und UL-konform, und seine extrem niedrige Vibrationsresonanz stellt sicher, dass es reibungslos und leise arbeitet und gleichzeitig Ausfallzeiten reduziert. FUSION M 150PC ist eines der modernsten Belichtungssysteme und bietet unschlagbare Leistung und Zuverlässigkeit. Es eignet sich ideal für Produktions- und Forschungsanwendungen in der Mikroelektronik, die eine Hochdurchsatz- und Hochleistungsverarbeitung ermöglichen. Mit seiner fortschrittlichen Optik und Roboterarmen sowie seinen vielfältigen benutzerfreundlichen Funktionen ist es eine ausgezeichnete Wahl für alle Arten von Expositionsaufgaben.
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