Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #293822595 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PC ist ein hochmodernes Belichtungsgerät für hochqualitative und präzise integrierte Schaltungs-Photolithographie. Es wurde speziell für die Lithographie der Halbleiterindustrie entwickelt. Das System besteht aus einer Excimer Laser Beam Source, einem hochpräzisen Projektionsoptikmodul, einer Waferbühne, einer integrierten Front End Unit (FES) und einer umfassenden Prozesssteuerungssoftware. Die Maschine wurde entwickelt, um die höchsten Qualitätsergebnisse zu liefern, mit einer hohen Kontrastoberfläche, schnellen Belichtungszeiten, Präzisionsausrichtung und geringer Linienunschärfe. Das proprietäre FES sorgt für Wiederholbarkeit, hohen Durchsatz und ausgezeichnete Bildqualität. Die Laserstrahlquelle liefert eine hohe Flussdichte und eine schmale, 5 nm Bandbreite von UV-Strahlung. Diese Laserenergie wird aufgeteilt, wobei ein Teil des verwendeten Strahls Cross-Wafer und ein Teil zur Inline-Ausrichtung verwendet wird, die eine Auflösung bis zu 0,5 Mikron. Das hochzuverlässige Projektionsoptikmodul besteht aus drei Objektiv- und Spiegelstapeln und bietet Bildauflösung und Verzerrungskorrektur. Durch Kombination von Laser und Photomaske können Nanopatterns oder Mikromuster erzeugt werden. Die Waferstufe sorgt für präzise Ausrichtung und verfügt über eine sechsachsige Bewegungssteuerung mit einem Waferlader mit hohem Durchsatz und Entlader. Die außergewöhnliche Stabilität des Werkzeugs ermöglicht eine hervorragende Positionsgenauigkeit des Wafers während des Belichtungsprozesses. Schließlich bietet die Software-Suite Prozesssteuerung dem Anwender einen umfassenden Funktionsumfang zur Überwachung und Steuerung des gesamten Lithographieprozesses. Dazu gehören Rezeptbearbeitung, Protokollierung aller Parameter, Fehlererkennung und -wiederherstellung sowie Berichtsfunktionen. Das Asset unterstützt auch die verteilte Verarbeitung, sodass mehrere Workstations gleichzeitig ausgeführt werden können. Durch die Kombination von Lasertechnik, Projektionsoptik, Waferbühne und Software-Steuerung bietet FUSION M150PC beispiellose Leistung bei der Herstellung integrierter Schaltungssysteme. Das Modell wurde entwickelt, um lithografische Bilder höchster Qualität in einem Bruchteil der Zeit und der Kosten zu erzeugen, sodass Halbleiterhersteller wettbewerbsfähig bleiben und gleichzeitig mit den Anforderungen der Industrie Schritt halten können.