Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #293823986 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION M 150PC ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das speziell für die Produktion von hochvolumigen Halbleiterbauelementen entwickelt wurde und von den Halbleiterherstellern vieler der größten Halbleiterbauelemente genutzt wird. Das System umfasst eine Reihe von Technologiekomponenten, die es Anwendern ermöglichen, hochpräzise, konsistente und zuverlässige Geräte mit minimalen Defekten zu produzieren. Die Einheit ist um einen hochmodernen 81 cm langen Zweifeld-Elektronenmultiplikation (EM) -Lithographiekopf aufgebaut, der in der Lage ist, ein Bild mit einer minimalen Merkmalsgröße von bis zu 20 nm zu erzeugen. Zusätzlich bietet der Kopf eine extrem hohe Auflösung von bis zu 5,3 μ m, kombiniert mit einer hohen Abtastgeschwindigkeit von bis zu 20 mm/sec. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer doppelt breitbandigen Beleuchtung optimiert, die 3800 Watt Tri-Band und optionale 18kHz-Hilfslampentechnologie umfasst, die die bestmögliche Fokustiefe und die genauesten Merkmalsgrößen gewährleistet. Die Hardware des Tools basiert auf einem industrietauglichen PC und wird von einem Intel Xeon Prozessor mit Nvidia Quadro GPU betrieben, der die höchste Rechenleistung für die besten Ergebnisse gewährleistet. Weitere Merkmale der Anlage sind eine EUV-Projektionsoptik und ein fortschrittliches Aberrationskorrekturmodell für einen verbesserten Abbildungseffekt. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung auch eine geschlossene Fokus-Ziel-Steuerung für präzise Bildgebung, und das motorisierte Objektivdesign ermöglicht eine ausgezeichnete Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Das System verfügt zudem über eine integrierte Gerätesteuerung, die Anwendern eine umfassende Steuerung aller Vorgänge, Parameter und Datenerfassung ermöglicht. Dazu gehört die individuelle Abstimmung und Kalibrierung der gesamten Maschine sowie die Möglichkeit, verschiedene Rezepte zu programmieren und für die zukünftige Verwendung zu speichern. Darüber hinaus integriert das Tool eine einzigartige Tool-Monitoring-Komponente, die eine detaillierte Analyse des Lithographiekopfes, der Optik und der Sensoren ermöglicht, sodass Anwender proaktive Anpassungen vornehmen können, um eine optimale Leistung zu erhalten. Neben seiner fortschrittlichen Technologie umfasst das Modell auch eine umfassende Reihe von Sicherheitsfunktionen zum Schutz der Umwelt, des Personals und der Ausrüstung. Dazu gehören eingebaute Sicherheitssysteme, die vor Stößen durch hohe Temperaturen, mechanische Beschädigungen und Gefahrstoffe schützen. Es beinhaltet auch eine automatische Ausrüstung Ausfall im Falle einer größeren Störung oder Notfall. Zusammenfassend ist FUSION M150PC ein fortschrittliches Lithographiesystem, das die höchsten Anforderungen der Geräteherstellung erfüllt. Das Gerät verfügt über eine breite Palette von Funktionen, von geräuscharmen EM-Öffnungen bis hin zu innovativen EUV-Projektionsoptiken und von individuellen Kalibrierfunktionen bis hin zu strengen Sicherheitsmerkmalen. Dies macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Serienfertigung von Geräten.
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