Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #9114863 zu verkaufen
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ID: 9114863
Wafergröße: 6"
Photostabilizer, 6"
Includes:
Cabinet with SST panels
Wafer chuck assembly
(2) Cassette elevators
(2) Wafer handling robots
AC Distribution box
Empty card cage
Cables.
AXCELIS/FUSION M 150PC ist eine High-End-optische Belichtungsanlage, die für optimale Leistung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist ideal für kleine Stempel und große Wafer Produktion, so dass es eine ideale Wahl für fortgeschrittene Mikrochip Herstellungsprozesse. FUSION M150PC verfügt über ein einzigartiges kollimiertes optisches Projektionssystem, das zwei individuell einstellbare 2-Achsen-7,5-Zoll-Spiegel, eine 5-Zoll-Wellenlänge Multiple View Objective (MVO) -Linse und einen 0,65-fachen optischen Feldmaskenpfad umfasst. Das Zielbild wird zur präzisen Steuerung gleichmäßig auf einen digitalen Bildverarbeitungsprozessor projiziert. Das Gerät umfasst außerdem einen Stromversorger, eine Autofokusmaschine und eine Burn-In-Einheit für Wafer-Tests und Planarisierung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen bietet es maximale Flexibilität und Verarbeitungsgeschwindigkeit. Das Tool kann für eine Vielzahl von digitalen Bildformaten und Auflösungen konfiguriert werden, einschließlich JPEG, TIFF, BMP und CMYK. Die maximale Auflösung beträgt 20.000 Punkte pro Zoll (ppi) und ist somit ideal für die sensible Verarbeitung komplexer Grafiken und Texte. Die automatisierte Fokusregelung ist in der Lage, leichte Veränderungen der Position des Probanden zu erkennen und den Fokus genau einzustellen, um eine Konsistenz der Qualität der belichteten Schicht zu gewährleisten. Darüber hinaus unterstützt AXCELIS M 150 PC auch mehrschichtige Belichtungsmodi. Das robuste Design der Anlage ermöglicht es Anwendern, Belichtungsparameter effizient zu wechseln und anzupassen, mit minimalem Effizienzverlust. Darüber hinaus bietet sein proprietäres Flüssigkristall-Verschlussmodell die Flexibilität, Belichtungszeiten von konventionellen 0,25 Millisekunden bis zu 999 Millisekunden zu verbringen, was eine feine Kontrolle und verbesserte Bildqualität ermöglicht. Mit einem benutzerfreundlichen LCD-Touchscreen bietet AXCELIS M150PC eine intuitive grafische Benutzeroberfläche zur Einstellung von Belichtungszeiten, Belichtungsbereich und Belichtungsparametern. Der komfortable und effiziente Betrieb wird durch eine Zweizonen-Abgasanlage weiter verbessert, die die Kammer sauber hält und für Stabilität in Temperatur und Feuchtigkeit sorgt. Insgesamt ist FUSION M 150PC ein zuverlässiges und effizientes Belichtungssystem, das überlegene Leistung und flexible Funktionen für eine Reihe fortschrittlicher Verarbeitungstechniken bietet. Es ist optimal für Anwendungen, die eine saubere und gleichmäßige Belichtung erfordern, wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen für die Mikroelektronik, Optoelektronik und MEMS-Technologien.
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