Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #9226631 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PC ist ein Expositionsgerät von FUSION Technologies. Es ist ein Lithographiesystem, das verwendet wird, um Muster auf integrierten Schaltkreisen (IC) Wafern und Substraten zu erzeugen. Das Gerät ist in der Lage, Wafer bis zu einer Größe von 150 mm (6 Zoll) mit einer Mustertiefenauflösung von bis zu 5 Nanometern zu verarbeiten. Die Maschine zeichnet sich durch fortschrittliche hochauflösende Funktionen, hohen Durchsatz und einfache Bedienung aus. Das Tool verfügt über eine hochauflösende, hochdurchsatzstarke Scananlage, die 6 "-Wafer bei bis zu 350 Wafern/Std. verarbeiten kann. Mit Asurf Software ist das Modell für eine breite Palette von Belichtungsmustern und Substratmaterialien programmiert, so dass der Benutzer den Prozess für die gewünschte Wafergröße und Produktionsanforderungen anpassen kann. Das Gerät verfügt auch über eine langlebige Dauerwellen-Laserdiode, die die Strukturierung von Substraten bis zu 10nm unterstützen kann. FUSION M150PC ist auch mit einer Hochleistungs-Elektronenstrahlquelle ausgestattet. Diese Strahlquelle ermöglicht es dem Anwender, Mustertiefen bis zu 5 nm zu erreichen, mit Strahlstrombereichen bis zu 3 Ampere/cm2 und Belichtungsdosis bis zu 20 mrad/cm2. Das System bietet zudem eine integrierte Echtzeit-Fehlererkennung, die eine optimale Produktivität ermöglicht, da der Benutzer Fehler auf dem Substrat schnell erkennen kann. Das Gerät basiert auf einem ergonomischen Design und einer einfach zu bedienenden Software, wodurch es einfach in bestehende Prozesse und Schulungsanforderungen integriert werden kann. Die Maschine wird von AXCELIS OneCET Software und AXCELIS/FUSION Interlock Controller angetrieben und bietet eine effiziente Überwachung und Steuerung des Waferprozesses. Das Tool entspricht den ISO, SEMI und OHSAS Standards für Sicherheit, Qualität und Umweltstandards. Darüber hinaus wird die Anlage regelmäßig gewartet und aktualisiert, um Industriestandards und Sicherheitsvorschriften zu erfüllen und eine optimale Leistung während ihrer gesamten Lebensdauer zu gewährleisten. Insgesamt ist AXCELIS M 150 PC ein Hochleistungs-Belichtungsmodell, das auf höchste Präzision und Klarheit in Musterdefinitionen und Substratmaterialtypen ausgelegt ist. Mit hohem Durchsatz und präziser Strukturierung bietet die Ausrüstung dem Anwender große Flexibilität und die Fähigkeit, sich kontinuierlich auf optimale Leistung einzustellen. Kombiniert mit optionalen Strahlverfolgungspaketen und Echtzeit-Fehlererkennung ist das System eine hervorragende Lösung für die IC-Produktion und andere verwandte Prozesse.