Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #9232206 zu verkaufen

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ID: 9232206
System.
AXCELIS/FUSION M 150PC ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Das System ist mit einer einzigartigen 5-Achsen-Stufeneinheit ausgestattet, die eine präzise und genaue Ausrichtung für Spitzenleistungen ermöglicht. Die Leistung der Maschine bietet eine breite Palette von Optionen für Benutzer. Das Tool verwendet drei verschiedene Quellkonfigurationen: reines Argonfluorid, optische Bandbreitenquelle mit 248nm Wellenlänge und i-line Quelle mit 365nm Wellenlänge. Der Argon-Fluorid-Laser bietet einen hohen Durchsatz, Bildtreue und Gleichmäßigkeit über den gesamten Photomusterbereich, während die i-line-Quelle die ideale Wahl für Polyimid-lichtempfindliche Filme ist. Das Asset verfügt auch über eine fortschrittliche Collimated Overlay Imaging Detection Technology, die eine direkte Kantenausrichtung mit erhöhter Genauigkeit und Präzision ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die Collimated Overlay Imaging Detection-Technologie die Echtzeitanalyse, Überwachung und Messtechnik von Retikeln und Wafern in einem einzigen Zyklus. Darüber hinaus verbessert das erweiterte Power Compensation Modul den Durchsatz, den Fokus und die kritischen Dimensionen des Resists. Das Modell verfügt zudem über eine ausgeklügelte Rechenplattform, die unter anderem die direkte Steuerung von Parametern wie Mask ID, Exposures, Dose und Align ermöglicht. Die Rechenplattform ermöglicht es Benutzern auch, ihre eigenen Rezepteinstellungen anzupassen und Daten zu analysieren, wodurch kein zusätzliches Programmieren erforderlich ist. Die Quelle von FUSION M150PC ist intelligent genug, um automatisch zu erkennen, wann eine Maske, ein Wafer oder ein Retikel in das Gerät geladen werden. Darüber hinaus ist das System mit einer Reihe von hochmodernen Sicherheitsmerkmalen wie Notabschaltung sowie Verbrennungs- und elektrischen Sicherheitsmechanismen ausgestattet. AXCELIS M 150 PC ist eine leistungsstarke und zuverlässige Belichtungseinheit, die in der Lage ist, erstklassige Leistung in einer Vielzahl von Lithographie- und Nanofabrikationsanwendungen zu liefern. Seine benutzerfreundlichen Funktionen und erweiterten Funktionen ermöglichen es Benutzern, mit minimalem Aufwand Bilder und Muster von höchster Qualität zu erstellen. Die Maschine eignet sich sowohl für industrielle als auch für Forschungsanwendungen wie Nanoelektronik, Halbleiter, Mikrooptik und Photonik.
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