Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #9241901 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PC ist eine fortschrittliche kostengünstige Belichtungsanlage, die für die Produktion von Photomasken in hoher Stückzahl konzipiert ist. Mit seinem hohen Durchsatz, hochwertigen Bildern und fortschrittlicher Automatisierung ist es die ideale Lösung für die Herstellung einer Vielzahl von Fotolithographie-Masken, einschließlich der für Display-LCDs. Dieses System bietet ein innovatives, integriertes optisches Design mit zwei Ionenpumpen und zwei Wafer-Ladestationen. Darüber hinaus verfügt es über eine Elektronik der nächsten Generation, einschließlich einer großformatigen, einfach zu bedienenden Touchscreen-Schnittstelle und einem Motion Controller sowie einer Autofokus-Einheit, um eine hochpräzise und optimale Platzierung der Funktionen zu gewährleisten. FUSION M150PC bietet auch eine Vielzahl von Funktionen zur Verbesserung der systematischen Leistung. Diese Merkmale umfassen eine Hochleistungs-Ionenpumpe für eine effiziente Filmentwicklung in einer Reihe von Gasen sowie einen großflächigen Polarisator und Emitter sowie einstellbare Öffnungen, um hohe Kontraste, geringe Verzerrungen und großflächige Bilder zu erzeugen. Die Maschine verfügt auch über einen ProX-ähnlichen Full Range Scanner (FRS), um schnelle Scan- und Bewegungszeiten zu ermöglichen, sowie ein intuitives Focal Alignment Tool (FAS) für die automatische Ausrichtung des Schrotfeldes. Es hat auch eine erweiterte Mehrschicht-Lithographie-Asset mit einstellbarer Energie relativ zum Substrat. Darüber hinaus verfügt dieses Modell über einen automatisierten Wafer-Handling-Mechanismus, der eine schnelle und effiziente Batch-Verarbeitung ermöglicht. Dieser Wafer-Handhabungsmechanismus wird mit vier Robotern geliefert - einem zum Be- und Entladen von Wafern aus der Station, zwei zur Inspektion und Reinigung und einem zum Trennen. Die Roboter können für die Chargenverarbeitung mit mehreren Wafern für erhöhten Durchsatz verwendet werden. Darüber hinaus verfügt das Lade-/Entlademodul über eine automatische Kollisionserkennungseinrichtung, die sicherstellt, dass die Netze und andere Komponenten nicht beschädigt werden. AXCELIS M 150 PC ermöglicht die Herstellung einer Vielzahl von Photomasken, einschließlich Aluminium- und Quarzmasken sowie Transfers von verschiedenen Substraten. Es bietet auch eine Vielzahl von Auflösungen von 50 nm bis 500 nm. Darüber hinaus ist dieses System in der Lage, Overlay-Fehler zu mindern, was eine präzise Ausrichtung der Photomaske und eine erhöhte Ausbeute ermöglicht. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION M 150 PC eine kostengünstige, leistungsstarke Belichtungseinheit, die eine Vielzahl von Funktionen zur Optimierung, Vereinfachung und Verbesserung der Photomaskenherstellung bietet. Mit hohem Durchsatz, fortschrittlicher Automatisierung und intuitiver Touchscreen-Oberfläche ist es das perfekte Werkzeug für die Herstellung hochwertiger Photomasken für LCD- und Display-Anwendungen.