Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #9250096 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PC Exposure Equipment ist ein fortschrittliches, direkter Blick Wafer Belichtungswerkzeug für den Einsatz in der Produktion von ICs entwickelt. Das System eignet sich für den Einsatz in der Mengenproduktion von hochdichten Geräten mit Submikron-Eigenschaftsgrößen. Die Einheit basiert auf einer Linearmotormaschine, die eine genaue Positionierung und Be-/Entladung von Substraten ermöglicht. Das Werkzeug ist in der Lage, bis zu 150 mm Substrate bei einer 200X Reduktion mit einer Fokustiefe von 30 Mikrometern zu belichten. Das Asset bietet eine Reihe von Funktionen, die die Kontamination reduzieren und die Genauigkeit erhöhen sollen. Die Direktansicht des Modells nutzt eine integrierte langlebige, versiegelte Objektivprojektionsausrüstung mit einem geschlossenen Glasdach, die eine saubere, staubfreie Umgebung gewährleistet. Es ist auch mit einem integrierten Laserinterferometer ausgestattet, das eine präzise Substratpositionierung und Kontrolle der Substratneigung ermöglicht. Die optische Einheit des Systems verwendet eine beschichtungsfreie Trockenprojektionslinse und eine Reihe von optischen Bandpassfiltern, die die Erzeugung von feinen Linien und Submikron-Merkmalsgrößen ermöglichen. Zusätzlich ist die Maschine mit einem motorisierten Aligner ausgestattet, mit dem Substrate schnell und präzise < 0,2 m genau ausgerichtet werden können. Die motorisierte Wafer-Handling-Anlage des Werkzeugs bietet sowohl Ein- als auch Zweisubstratverarbeitung und verfügt über Sechs-Sigma-Fähigkeiten. Das Modell verfügt zudem über eine vollautomatische, automatisierte Substratabbildungsfunktion, um eine wiederholbare Substratverarbeitung zu gewährleisten. FUSION M150PC ist eine effiziente und zuverlässige Ausrüstung, die für eine langfristige, kostengünstige Produktion ausgelegt ist. Die spezialisierte Programmierung des Systems gewährleistet einen schnellen und stabilen Durchsatz mit Produktionsraten von bis zu 12 Zyklen pro Stunde. Das Gerät ist modular aufgebaut und ermöglicht Flexibilität und Upgrades bei Bedarf. Die Maschine bietet auch Netzwerkverbindungen zur Fernüberwachung und -steuerung und ist mit einer Vielzahl von Hostcomputern, Betriebssystemen und Software kompatibel. AXCELIS M 150 PC Exposure Tool bietet fortschrittliche, präzise Belichtungsfunktionen für IC-Herstellungsprozesse. Mit seiner umfassenden Palette von Funktionen und Automatisierung ist das Asset gut für die Produktion von hochdichten Geräten geeignet und gewährleistet präzise und wiederholbare Ergebnisse.