Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PC #9399679 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION M 150PC ist ein einheitliches, leistungsstarkes Belichtungsgerät für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen. Es wurde entwickelt, um die strengsten bildgebenden Anforderungen in einer Reihe von Funktionsgrößen und Steigungsgenauigkeitsstufen zu erfüllen. Das System hat eine hohe Geschwindigkeit mehrfunktionelle Übertragungsplattform, die mit Fadenkreuzen von bis zu 375 Mm vereinbar ist. Es umfasst eine automatisierte Handhabungseinheit für bis zu 30 Reticles und einen Laser-Viewer zur Ausrichtung und Überprüfung. FUSION M150PC enthält einen High-End-Generator für optische Muster, der eine Kombination aus modernster Technologie und fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen verwendet, um eine Reihe von Schussgrößen mit ausgezeichneter Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erzeugen. AXCELIS M 150 PC ist auch mit einem mehrstufigen Laserbelichtungskopf ausgestattet. Es hat eine maximale Leistung von 150W und kann Schüsse mit einer Geschwindigkeit von bis zu 250 μ m/s belichten. Der Laser wurde entwickelt, um Bilder mit hoher Genauigkeit mit außergewöhnlich niedrigen Linien und Platzvariationen zu liefern. AXCELIS/FUSION M150PC kombiniert Echtzeit-Fokussteuerung, erweiterte Ausrichtungssteuerung und Fehlerkorrekturfunktionen, um eine optimale Bildsteuerung zu gewährleisten. Die automatisierte Prozesssteuerungsmaschine sorgt für wiederholbare Ergebnisse bei jedem Durchlauf mit verbesserten Prozesswerkzeugsteuerungsfunktionen. Das Tool verfügt auch über iCure, eine Lithographie-Runtime-Software der nächsten Generation. Diese Software wurde entwickelt, um Probleme zu identifizieren, zu analysieren und zu beheben, die während einer Exposition auftreten können, was eine effizientere und zuverlässigere Produktentwicklung ermöglicht. Das Ergebnis ist ein flexibles, zuverlässiges und leistungsstarkes Belichtungsmaterial mit maximaler Bewegungsstabilität, ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Genauigkeit sowie verbesserten Prozesskontrollfunktionen. FUSION M 150PC ist eine gute Wahl für die Steigerung der Produktionseffizienz und Qualität in einer Vielzahl von Lithographieanwendungen.
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