Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PCJ #9095711 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION M 150PCJ
ID: 9095711
Wafergröße: 5" & 6"
Photostabilizer, 5" & 6".
AXCELIS/FUSION M 150PCJ ist ein fortschrittliches, kostengünstiges Belichtungsgerät für Deep-UV-LED-Anwendungen. Dieses System ermöglicht High-End-Leistung über eine breite Palette von Submikron-Substraten. Mit proprietären Technologien wie LED-assistierter, direkter Bildgebung (DIDI) und einer Vielzahl von DHC-Optionen (Digital Height Control) bietet FUSION M 150PCJ eine überlegene Genauigkeit für Bildgebung und Funktionsgrößen. AXCELIS M 150PCJ ist mit einer integrierten Mess- und Steuereinheit ausgestattet, die Präzision der Bedienung, präzise Bildübertragung und dynamische Reaktion gewährleistet. Dazu gehört eine thermisch verwaltete Kühlmaschine, die die Belichtungskammer für optimale Leistung stabilisiert. Die Direct Imaging Technology (DIDI) verstärkt die Überlappung zwischen Belichtungs- und Bildgebungsschichten und bietet gleichzeitig eine höhere Kontrastauflösung der Funktionsgrößen auf dem Substrat. Das Mach 2.0 Modul von FUSION enthält erweiterte DHC-Optionen (Digital Height Control), die eine präzise Ausrichtung verschiedener Schichten und eine Multifokus-Belichtungsroutine ermöglichen. Durch diese Fähigkeit können feine Steigung und Gleichmäßigkeit von Merkmalen über viele Substrate erreicht werden. Darüber hinaus unterstützt M 150PCJ In-situ-Reinigungsfunktionen, was zu einer effizienteren Substratbearbeitung und einer verbesserten Ertrags- und Werkzeugleistung führt. AXCELIS/FUSION M 150PCJ zeichnet sich durch ein ergonomisches Design aus, das eine effiziente und präzise Handhabung des Prozesses ermöglicht. Darüber hinaus ermöglichen die intuitive Benutzeroberfläche und die Echtzeit-Fernüberwachung eine schnelle Rückmeldung an den Bediener und erleichtern bei Bedarf sofortige Anpassungen. Darüber hinaus unterstützt das Modell eine Vielzahl von Reinigungsprozessen wie Autofokus-Reinigung, Tiefenreinigung und B-Stufenreinigung. Insgesamt 150PCJ FUSION M eine vielseitige und hochpräzise Belichtungsausrüstung, die den Anforderungen tiefer UV-LED-Anwendungen gerecht werden kann. Die integrierte Schichtsteuerungstechnik und der automatisierte Workflow ermöglichen eine schnelle Einrichtung und einen effizienten Betrieb. Darüber hinaus ist die ergonomische Konstruktion und der kostengünstige Betrieb eine ideale Lösung für maximale Systemleistung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor