Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PCU #9043936 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PCU Ion Implantation Equipment ist eine hochmoderne und zuverlässige Ausrüstung für maximale Prozessflexibilität und Durchsatz für die Implantation. Es ist eine fortschrittliche Technologie integrierte Ionen-Implantiersystem, geeignet für eine breite Palette von Geräteprozessen. Es bietet Präzision und überlegene Scan-Steuerung. Diese Belichtungseinheit besteht aus einer Quellkammer, einem Scanner und einer Waferübertragungsmaschine. Die Quellkammer ist mit einer 15EkV Dotierung und einer 20kV Glühpistole ausgestattet. Es besitzt einen 8-Segment-Elektrostatikscanner zur präzisen Implantatsteuerung. Die vertikale Achse des Scanners wird computergesteuert. Das Waferübertragungswerkzeug ist so ausgelegt, dass Wafer aus dem Objekt be- und entladen werden können, ohne den Modellbetrieb zu stoppen. Es ist auch mit einem automatischen Wafer Be- und Entlademodul ausgestattet. Das Gerät wird von einem Windows-basierten Computersystem gesteuert, das eine einfachere Programmierung von Implantationsrezepten und eine präzisere Implantationssteuerung ermöglicht. Die Einheit hat auch eine Echtzeit-Rückkopplungsschleife, die hilft, die Dosis und das Profil des Implantats zu steuern. Die Maschine ermöglicht Präzision und Wiederholbarkeit auch bei kleinen Dosisunterschieden. FUSION M 150PCU bietet zuverlässige, wiederholbare und leistungsstarke Implantation. Es verwendet fortschrittliche Ionenquellensteuerungstechniken und fortschrittliche Strahl- und Substratsteuerung, um eine hohe Produktivität zu gewährleisten. Die Benutzeroberfläche besteht aus einem großen Touchscreen-Farbmonitor und einer grafischen Programmiersprache. Dies macht das Programmieren und Ändern von Rezepten schnell und einfach. Das Werkzeug ist auch in der Lage, kleine Substratgrößen und verschiedene Plasmaprozesse wie Niederenergie-Implantate zu handhaben. Das Asset verfügt über einen mehrstufigen Arbeitszyklus, der eine optimale Dotierstoffnutzung und minimale Modellladung ermöglicht. Darüber hinaus bietet es maximale Prozessflexibilität, so dass Anwender eine Vielzahl von Implantationsprozessen mit ihren schnellen Zykluszeiten effizient verwalten können. AXCELIS M 150 PCU bietet leistungsstarke, flexible und effiziente Implantations- und Glühfunktionen für eine Vielzahl von Geräten und Substraten. Es enthält fortschrittliche Strahlkontrolltechnologie und eine intuitive Benutzeroberfläche für eine schnellere und genauere Implementierung von Implantationsrezepten. Es verfügt über eine überlegene wiederholbare Leistung, um Erträge und Leistung für maximale Zuverlässigkeit zu verbessern.