Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PCU #9235795 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PCU ist eine industrielle Photoresist-Belichtungsanlage, die für Lithographieverfahren auf Produktionsebene entwickelt wurde, wie zum Beispiel auf Wafer, Substraten und Maskenherstellung. Das System ist hochflexibel und bietet Funktionen wie automatisierte Substrat- und Maskenwechsler, Stereolithographie und einstellbaren Belichtungsbereich. FUSION M 150PCU ist mit einem umfassenden Softwarepaket ausgestattet, um stark wiederholbare Belichtungen mit Geschwindigkeit und Präzision zu unterstützen. Die Software gibt Anwendern volle Kontrolle über Lichtstufen und Akquisitionszeiten in trockenen und nassen Prozessen. Darüber hinaus ermöglicht es eine Positioniergenauigkeit von bis zu 0,1 mm über einen weiten Belichtungsbereich. Es ermöglicht auch langfristige Belichtungskonsistenz mit einer variablen Geschwindigkeit, Multi-Zone-Scan-Routine. AXCELIS M 150 PCU besteht aus einem hochpräzisen servogesteuerten Stepper und Controller, Photosensor und Softwareplattform. Die Steuerung ist mit einem eigenen integrierten Mikroprozessor und einer Elektronik zur Verbindung mit dem Fotosensor ausgestattet. Der Photosensor selbst enthält eine hochgenaue optische Einheit, die eine genauere Regelung der Ausgangsleistung und Belichtungszeiten im Vergleich zu Standard-Profilern ermöglicht. Die Maschine ist auch mit einem High-End-XY-Positionierwerkzeug ausgestattet und bietet Präzisionsgenauigkeit über einen weiten Bereich. Zusätzlich enthält es ein Vakuumfutter, um sicherzustellen, dass Proben während der Exposition fest gehalten werden. Das Modell kann auch mit einer Antireflexbeschichtung ausgestattet werden, um das Risiko des statischen Aufbaus auf dem Wafer während des Belichtungsprozesses zu reduzieren. FUSION M 150 PCU verfügt über integrierte Sicherheitsfunktionen, einschließlich dedizierter Luftfilter und spezialisierter Abschirmung zum Schutz des Personals vor schädlicher Strahlung und einem integrierten Notabschaltsystem. Zudem ist das Gerät mit einer Betriebszeit von 99,9% äußerst zuverlässig. Insgesamt ist M 150PCU Belichtungsmaschine eine ausgezeichnete Wahl für prozesskritische Lithographieverfahren. Es ist robust, einfach zu bedienen und hochflexibel und bietet Lasergenauigkeit und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen.