Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PCU #9293816 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION M 150PCU
ID: 9293816
Wafergröße: 5"
Lithography system, 5".
AXCELIS/FUSION M 150PCU ist ein intermediäres Expositionsgerät, das für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde, die sowohl Einzel- als auch Mehrfachbelichtungsfunktionen erfordern. Diese Maschine verfügt über ein neues 6-Achsen-Bewegungssystem, das die Flexibilität bietet, X- oder Y-Vorfälle in 1-Achsen, 2-Achsen oder 3-Achsen-Konfigurationen anzupassen und anzupassen. FUSION M 150PCU Warmlaufzeit wurde gegenüber ähnlichen Systemen verbessert, mit einer 2-minütigen Warmlaufzeit für bis zu 6 Achsen. Dieses Gerät ist für den Betrieb in linearen Schritten von 1 Mikrometer ausgelegt und bietet eine Gesamtgenauigkeit von ± 2% über einen 20-mm-Scanbereich. Die Maschine hat auch eine hohe Auflösung von 22 Nanometern, was eine höhere Selektivität und Genauigkeit bei Ausrichtungs-, Kontakt- und Bildgebungsanwendungen ermöglicht. Unterbelichtungsfunktionalität und integrierter Autofokus und intuitive Navigation machen AXCELIS M 150 PCU für schnelle Designs und bestmögliche Funktions- und Mustertreue geeignet. Diese Maschine kommt mit einer Vielzahl von Standard-Funktionen, einschließlich Mehrfachenergie-Level-Auswahl, variable Scan-Geschwindigkeit und variable Dosimetrie, sowie umfassende erweiterte Sicherheitsfunktionen wie Scannen Barrier Guard, Aligner und Scan in situ. Es wird auch mit einem umfassenden Diagnosepaket geliefert, um sicherzustellen, dass die Werkzeugleistung jederzeit innerhalb der Spezifikation bleibt. Das Asset basiert auf einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche, die eine vereinfachte und automatisierte Bedienung ermöglicht. Diese Schnittstelle bietet auch umfassende Online-Datenprotokolle und statistische Prozesskontrolle, so dass Benutzer die Prozessleistung in Echtzeit überwachen und verfolgen können. Darüber hinaus bietet das Modell umfassende Unterstützung für Spezialkammern bis 200 cm Breite und eine Vielzahl von Kalibrierungsverfahren. FUSION M 150 PCU eignet sich für eine Vielzahl von Schlüsselanwendungen, darunter Nanolithographie, Laserablation und Bewegungssteuerung in den Bereichen Life Sciences und Mikroelektronik. Es ist eine ideale Wahl für Kunden, die eine intermediäre Performance-Belichtungsanlage in kostengünstiger und zuverlässiger Bauweise suchen.
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