Gebraucht AXCELIS / FUSION M 150PCU #9391701 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 150PCU ist eine hochmoderne Belichtungsanlage für die Halbleiterindustrie. Es verwendet High-End-optische Komponenten und erweiterte Scanfunktionen, um eine überlegene Auflösung und Präzision für die Herstellung hochkomplexer Halbleiterbauelemente zu bieten. Das System besteht aus einer Linsenanordnung, einem Scanner, einer Lichtquelle, einer Belichtungssteuerung und Wafer-Tracking-Komponenten. Die mit der Einheit versehene Objektivbaugruppe ist ein optimierter Achromat mit niedrigem statischen Astigmatismus, ausgezeichneter Farbkorrektur und hoher Auflösung. Es hat eine effektive Öffnung von 200 mm und einen doppelten optischen Weg, der es ermöglicht, bis zu 201 mm Gesamtprojektionsfläche zu liefern. Der Scanner besteht aus einem mehrachsigen Scanarm, einer hochwertigen Spaltkamera und einem IR-Detektor. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen das schnelle Scannen und Erfassen verschiedener Belichtungsstufen und Wafer-Standorte. Die Belichtungssteuerung hat einstellbare Einstellungen, die die Belichtungszeit, Dosierung, Pattergröße und Scanrate genau steuern können. Zusätzlich ist die Maschine mit einem High-Speed-Wafer-Tracking-Tool ausgestattet, das bis zu 180 Wafer pro Stunde mit Wiederholgenauigkeit von 0,5 mm nachvollziehen kann. Das Asset integriert außerdem eine leistungsstarke Lichtquelle, die mehr als 8.000 Wafer pro Stunde belichten kann. Die Lichtquelle besteht aus einem programmierbaren Emitterarray und einem Reflektor mit einstellbaren Einstellungen für Wellenlänge und Emissionsart. Dies ermöglicht eine optimale Belichtung der Halbleiterbauelemente. Schließlich ist das Modell auch in der Lage, die Temperatur der Wafer mit einem Temperaturbereich von 4-40 ° C genau zu steuern. Dadurch wird sichergestellt, dass der Belichtungsprozess gleichmäßig verläuft und eventuelle Defekte durch thermische Gradienten beseitigt werden. FUSION M 150PCU ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Halbleiterindustrie, mit dem Unternehmen komplexere und qualitativ hochwertigere Geräte mit höherer Präzision und Effizienz herstellen können. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, gepaart mit seinem robusten Design und dem kompakten Formfaktor machen es zu einem der zuverlässigsten und vielseitigsten Belichtungssysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind.