Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU Polo #9258174 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 200 PCU Polo ist eine hochpräzise Belichtungsanlage. Es verwendet ein mikroskopartiges Setup, bei dem ein Retikel auf einer x-y-Bühne montiert ist und ein Wafer verwendet wird, um das Bild zu erfassen. Das Retikel wird auf die x-y-Stufe gelegt und mit dem Wafer ausgerichtet. Das Retikel wird dann in x- und y-Richtung unter dem Mikroskop bewegt, um es zur Belichtung zu positionieren. Das System wurde entwickelt, um genaue und wiederholbare Belichtungen mit ausgezeichneter Auflösung bereitzustellen. Seine hochauflösende Optik erfasst das Retikel genau, so dass es genaue Belichtungen auf niedrigem Niveau liefern kann. Dieses Gerät verfügt auch über eine motorisierte Waferstufe, die den Wafer genau auf dem Retikel präsentieren kann, um maximale Belichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. FUSION M200 PCU POLO verfügt über einen digitalen Bewegungsregler, der eine präzise Steuerung der x-y Bühnen- und Waferpositionen ermöglicht. Es ist in der Lage, Expositionszeiten von Millisekunden bis zu Stunden sowie Expositionsdosen von wenigen Nanogramm bis zu Milligramm zu liefern und kann Expositionen innerhalb von ± 1% halten. Darüber hinaus bietet es eine breite Palette von Lichtquellen wie LED, Krypton, Mercury Arc und DUV-Lampen sowie Filteroptionen wie schmalbandige Einstellungen und Antireflexionsfilter. Die Belichtungsmaschine verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale. Es bietet eine automatische Wafer-Kantenausrichtung mit automatischen Kantenerkennungsalgorithmen und einem unabhängigen Sicherheitswerkzeug. Dies gewährleistet eine genaue Ausrichtung des Retikels mit minimalem Potenzial zur Beschädigung des Wafers oder Retikels. Es hat auch eine automatische Erkennung der Retikelbewegung und stoppt die Belichtung und zieht das Retikel sofort zurück, wenn unbeabsichtigte Verschiebung auftritt. Schließlich ist AXCELIS M 200 PCU-POLO mit einem Datenlogging-Asset ausgestattet. Dieses Modell erfasst Belichtungszeit und Dosis in Echtzeit und kann zur Prozesskontrolle und Fehleranalyse verwendet werden. Es kann auch Position, Temperatur, Feuchtigkeit und andere Umgebungsbedingungen aufzeichnen, um eine gleichmäßige Exposition und Wiederholbarkeit des Prozesses zu gewährleisten. Insgesamt ist AXCELIS M200 PCU POLO eine fortschrittliche und robuste Belichtungsanlage, die wiederholbare und genaue Belichtungen mit überlegener Auflösung bereitstellt. Seine Sicherheitsfunktionen bieten einen zusätzlichen Schutz und seine Datenerfassungsfunktionen gewährleisten eine genaue Protokollierung für Zwecke der Prozesskontrolle und Fehleranalyse.