Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293651753 zu verkaufen

ID: 293651753
Wafergröße: 8"
Photostabilizer, 8".
AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist eine Expositionsausrüstung zur Unterstützung der Produktion in der Halbleiterindustrie. Das System umfasst eine fortschrittliche Plattform zur Verwaltung, Bereitstellung und Steuerung von breitbandigen UV-Lichtquellen. Es ist in der Lage, seine Ausgangsleistung mittels einer adaptiven Einheit automatisch zu steuern. FUSION M200PCU verfügt über eine quarzumschlossene optische Maschine und kann direkt in Scanner, Stepper und Produktionsdecks aller Ausgangsstufen für Zwecke wie Strukturierung und Reticle-Imaging integriert werden. Mit seiner großen Palette von optischen Parametern kann das Werkzeug verschiedene Arten von Halbleitersubstraten und Merkmalsgrößen aufnehmen. Das Asset verfügt zudem über ein breites Spektrum an optischen Komponenten wie Polarisations- und Höhensensoren sowie einen einzigartigen Strahlhomogenisator, der eine gleichmäßige Intensitätsverteilung ermöglicht. Das Modell ist in der Lage, Belichtungszeit und Leistungsstufen zu planen, um sicherzustellen, dass die genaue Menge an UV-Strahlung geliefert wird. Alle Gerätefunktionen sind programmierbar und das System unterstützt nur Scan oder Scan und Steuermodus. Es verfügt auch über eine anspruchsvolle Wartungsprüfeinheit und ist so konzipiert, dass sie flexibel ist und zukünftige Upgrades unterstützt. Für Wartungs- und Reparaturaufgaben ist die AXCELIS M200 PCU-Einheit so konzipiert, dass sie ferngesteuert gewartet werden kann und während der Wartung durch den Techniker betriebsbereit bleibt. Die Maschine verfügt auch über eine robuste Sammlung von Software, die eine Remote-Werkzeugüberwachung und -steuerung ermöglicht. Diese Software ermöglicht es dem Techniker, Parameter aus der Ferne anzupassen, das Asset-Setup anzupassen und Probleme zu beheben. M-200 PCU ist für hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer ausgelegt, die im Laufe ihrer Lebensdauer wenig Wartung erfordert. Das Modell verfügt zudem über zahlreiche benutzerfreundliche Funktionen wie eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die Bedienern und Technikern einen intuitiven Zugriff auf alle Gerätefunktionen bietet. AXCELIS M200PCU ist ein hochprogrammierbares und einfach zu bedienendes System, das sich hervorragend für eine hochwertige UV-Bestrahlung für die Halbleiterproduktion und andere anspruchsvolle Anwendungen eignet. Es wurde entwickelt, um konstant genaue Belichtungen zu liefern und kann leicht in bestehende Produktionslinien integriert werden.
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