Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824584 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist ein High-End-Belichtungsgerät, das für eine hervorragende Auflösung für lithografische Druckanwendungen entwickelt wurde. Das System kombiniert eine fortschrittliche Einheitenarchitektur mit erweiterten Bildgebungsfunktionen, um mehr Leistung und Produktivität zu bieten. Die Maschine ist ideal für die Geräteherstellung, von kleinen Komponenten bis hin zu kompletten Geräten. Das Werkzeug enthält eine High-End-Plasmakammer mit zwei Rückfahrkameras, mit denen Benutzer die Leistung des Materials aus jedem Winkel überwachen können. Es gibt einen mehrkanaligen kapazitiven Monitor, der hilft, den Waferdurchsatz zu optimieren und die Waferqualität zu überwachen. Die Elektronenstrahlquelle 100W hilft, kleine Bereiche zur Feinstrukturierung unterzubringen, während der 50keV Betriebsspannungsbereich mehr Flexibilität für die Geräte- und Funktionsgrößensteuerung bietet. Das Modell kann eine Reihe von Photoresist-Funktionen belichten und bietet eine hochpräzise Fokustiefe. Der computergesteuerte Scanner sorgt für eine genaue und wiederholbare Waferbildgebung, während die Fähigkeit, mehrschichtige Platzierungs- und Belichtungsmuster zu handhaben, die Ausbeute und Produktivität erhöht. Das Gerät verfügt zudem über eine Optimierungsmaschine, die es Anwendern ermöglicht, das System einfach auf unterschiedliche Anforderungen der Geräteproduktion abzustimmen. Das Gerät verfügt außerdem über eine automatisierte Gleismaschine, mit der Benutzer die Leistung der Ausrüstung während des Produktionsprozesses überwachen können. Das Werkzeug ist auch zum thermischen Backen in der Lage, so dass Benutzer die Gleichmäßigkeit des freiliegenden Harzes zu steuern. Die fortschrittliche Substrathandhabung ermöglicht es dem Asset, dünne Substrate einfach und sicher zu übertragen und zu handhaben, wodurch das Risiko einer Kontamination verringert wird. FUSION M200PCU ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Belichtungsmodell, ideal für die Geräteherstellung. Dank der fortschrittlichen bildgebenden Funktionen, der robusten Ausstattungsarchitektur und der flexiblen Optimierungsengine ermöglicht dieses System maximale Geräteausbeute und -genauigkeit.
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