Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824586 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU (Product Containment Unit) ist ein Expositionsgerät, das für maximale Eindämmungsfähigkeiten bei der Herstellung von Halbleitern entwickelt wurde. Das System ist mit einem verstellbaren, fortschrittlichen Schieberventil ausgestattet, das den Arbeitsbereich der PCU vom Rest der Produktionsumgebung isoliert. Dadurch wird sichergestellt, dass nur reinstes Gas und Chemikalien im Arbeitsraum vorhanden sind und eine saubere und sichere Arbeitsumgebung gewährleistet ist. FUSION M200PCU ist sorgfältig aufgebaut mit einer festen Aufnahmekammer, einem einstellbaren Sichtfenster und einem thermischen Ofen, die alle nach den spezifischen Bedürfnissen des Benutzers organisiert sind. Das verstellbare Sichtfenster ist so ausgelegt, dass die Sichtbarkeit der Innenabläufe der Einheit erhöht wird. Der Low-Thermal-Masse-Ofen wurde entwickelt, um bei jeder Temperatureinstellung eine konstante Wärmeleistung und Wärmeübertragungsgenauigkeit zu gewährleisten. AXCELIS M200 PCU verwendet ein Quarznetz, das von einer Aluminium-Trägerstruktur abgedeckt ist, um kurz- und langwellige UV-Strahlungsemissionen vom Substrat zu absorbieren und vor Oxidation und Kontamination zu schützen. Das Quarznetz hilft auch, die Härtungsgleichförmigkeit während des Polymerisationsprozesses zu regulieren, was die Herstellung von Halbleitern mit Hochleistungseigenschaften ermöglicht. M200 PCU wird durch eine Vielzahl von Optionen ergänzt, darunter eine mikroelektromechanische Beschichtung (MEMS), eine siliziumoxid- und plasmaverbesserte CVD-Beschichtung und eine Hochdurchsatz/Low-Flow-Gasleitung. Die mit MEMS beschichteten Dünnschichtressourcen sorgen für Feinsteuerung und Gleichmäßigkeit über ultradünnen Film während des Halbleiterherstellungsprozesses. Das siliziumoxid- und plasmaverbesserte CVD hilft bei der Optimierung der Produktion von Feinlinienlithographie und überlegener unterer Antireflexionsbeschichtung (BARC). AXCELIS M200PCU wurde entwickelt, um die strengsten Sicherheitsanforderungen zu erfüllen und wird von der SafeWeb-Technologie angetrieben. Dieses Softwarepaket wird verwendet, um die Maschine vor potenziellen Verletzungen wie unbefugten Zugriffsversuchen und Manipulation von Prozessparametern zu schützen. Dies gewährleistet ein sicheres und sicheres Werkzeug, das dennoch einfach zu bedienen ist und das Personal schützt, Kosten minimiert und die Qualität aufrechterhält.
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