Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9095387 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist ein komplettes konfigurierbares Halbleiter-Wafer-Belichtungsgerät mit höchster Genauigkeit und hochwertigster EUV-Maskierung für Spitzen-Halbleiterbauelemente. Entwickelt für 8 ", 12" und bis zu 16 "Wafergrößen, verfügt das System über einen innovativen großformatigen Maskentisch mit einer reibungslosen Übertragungsbewegung - mit beispielloser Stabilität und Genauigkeit beim Maskenschreiben. FUSION M200PCU wurde entwickelt, um die Produktivität von Masken durch High-End-Masken-Durchsatz und Kallibrierungsfunktionen der nächsten Generation zu beschleunigen. Es verfügt über vier Scan-Achsen: x, y, theta, und z, für verbesserte Maske Schreibgenauigkeit und Stabilität in Gegenwart von thermischen drift. Die PCU ermöglicht schnelle Optimierungen und globale Overlay-Korrekturen mit vom Benutzer ausgewählten Belichtungsfeldern sowie benutzerspezifische Scangeschwindigkeit und -auflösung, wodurch eine präzise Overlay-Ausrichtung ermöglicht wird. AXCELIS M200 PCU bietet eine benutzerfreundliche, intuitive grafische Benutzeroberfläche. Der integrierte Controller umfasst Software-Tools zur Bildqualitätsanalyse, adaptiven Korrektur, Optimierung und verstärkten Steuerung der Funktionen des Geräts. Die Maschine kann auch mit einem ASTA-Maskeninspektionswerkzeug integriert werden, mit dem Benutzer alle freiliegenden Maskenfelder mit hoher Genauigkeit und Kontrolle überwachen, messen und korrigieren können. Das PCU-Tool nutzt eine hochleistungsfähige optische Laserbeleuchtung mit überlegener optischer Strahlstabilität und Leistungsanpassungsfähigkeit. Es zeigt auch ein großes Feld, Mehrschlitzbalkenliefereinheit, einheitliche Beleuchtung über das komplette Maskenfeld berücksichtigend. Das integrierte dynamische Strahlformungsmodul bietet eine überlegene, scharfe Wiedergabe komplexer Maskenstrukturmerkmale. Das optionale Belichtungs-Scanner-Zubehör kann für Musterausflüge mit bis zu 0,25um Auflösung eingebaut werden. M-200 PCU ist mit einem hochpräzisen, thermisch gesteuerten, Masken- und Wafer-Bühnenmodell mit beheiztem Wafer-Futter zur optimierten Prozesssteuerung ausgestattet. Die Ausrüstung verfügt auch über einen gepulsten Stickstoffschrank, um Kontaminationen zu minimieren, eine Reihe von Hochleistungs-mechanischen Stufen, die eine hohe Stabilität während des Belichtungsprozesses bieten, und ein Luftreinigungssystem, das die potenziellen schädlichen Auswirkungen von Staub beseitigt. AXCELIS/FUSION M-200 PCU ist eine sehr vielseitige Einheit, die in der Lage ist, hochwertige Masken mit hohem Durchsatz zu produzieren und gleichzeitig die ultimative Genauigkeit, Einheitlichkeit und Prozesskontrolle zu bieten. Es ist wirklich eine ideale Lösung für die fortschrittlichsten und anspruchsvollsten Halbleitermaskierungsanwendungen.