Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9145259 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist eine führende Belichtungsanlage für Photolack- und Backanwendungen. Dieses System sorgt für Konsistenz in den Arbeitsabläufen Beschichtung, Backen, Nachbacken und Ätzen. Seine fortschrittliche Technologie gewährleistet präzise und wiederholbare Steuerung, bessere Reproduzierbarkeit in der Produktion und lieferte Leistung. Zu den fortschrittlichen Komponenten gehören ein Roboterlader für Wafer, eine auf einer Plattform montierte Fördereinheit, eine geregelte Temperaturluft und ein Antriebsmotor mit variabler Geschwindigkeit. Der Wafer-Roboterlader verfügt über eine eingebettete Vision-Maschine, um eine genaue Slot-to-Slot-Handhabung von Wafern zu gewährleisten. Das Förderwerkzeug weist eine verstellbare Bahnvorrichtung auf, die eine präzise Wafer-zu-Wafer-Übertragung und Platzierung bei minimaler manueller Wechselwirkung ermöglicht. Die Temperatur- und Feuchtigkeitskontrollen sorgen für gleichmäßige Temperatur- und Feuchtigkeitsbedingungen, um Defekte zu reduzieren. Der Motor mit variabler Drehzahl kann zur präzisen und wiederholbaren Steuerung der Belichtungs-, Back- und Ätzvorgänge eingestellt werden. FUSION M200PCU verfügt über einen Standard-Backofen mit einer umlaufenden erwärmten Luft. Dieser Backofen unterstützt die Waferbelichtung für N7, HMBCD und HOLEMASK/SATICIDE Prozesse. Der Ofen ist auch mit den neuesten Tür-/Programmoptimierungssteuerungen ausgestattet, um Gleichmäßigkeit und optimale Prozessleistung zu gewährleisten. Das Modell enthält auch eine Auspuffanlage, die unnötigen Gasaufbau beseitigt. Das Gerät verfügt auch über eine Variable Height Film Coating Station, die die Abscheidung von Photolack auf Wafersubstraten automatisiert. Diese Station ist mit einer patentierten Luftzerstäubertechnik ausgestattet, die eine gleichmäßige und präzise Dickenbeschichtung von Photoresistfilmen ermöglicht, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das System bietet auch optionale Unterstützung für Kochplatten, Backplatten und UV-Belichtungsoperationen. AXCELIS M200 PCU ist eine hocheffiziente leistungssteigernde Einheit mit fortschrittlicher Technologie und Unterstützung für verschiedene Belichtungsoperationen. Diese Maschine gewährleistet präzise und wiederholbare Ergebnisse, bietet eine verbesserte Betriebseffizienz, bessere Reproduzierbarkeit und insgesamt überlegene Leistung.