Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284344 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist eine vollautomatisierte Waferbelichtungsanlage, die unter Berücksichtigung der Produktivität und des Produktionsdurchsatzes entwickelt wurde. Dieses System ist für die Bearbeitung von Wafern mit einem Durchmesserbereich von 200 mm ausgelegt. Das Gerät besteht aus einer hochpräzisen X-Y-Stufen- und Bewegungssteuerungsmaschine, einem High-End-Mustergenerator sowie einer multispektralen Box-Beleuchtung und fortschrittlicher UV-Optik. Die Waferstufe hat eine Auflösung von 2,5 Nanometern. Diese Präzision ermöglicht ein schnelles und präzises Drucken komplexer Muster. Dieses Tool bietet viele Funktionen, um die Produktivität zu maximieren. Es enthält einen fortgeschrittenen Muster-Generator namens Protec PU, die Muster on-the-fly mit einem maximalen Speicher von 40 Megabyte erzeugen kann. Das Asset wird auch mit einem fortschrittlichen optischen Modell geliefert, das eine stabile gleichmäßige Beleuchtung mit einer automatischen Nullschaltung sowie Überdosenfunktionen bis zu 270nm liefert. Das Gerät wird auch mit Astra geliefert, einem integrierten Inspektionswerkzeug, das eine automatisierte Waferinspektion nach der Exposition ermöglicht. Zur Visualisierung gedruckter Muster sind ein Vision Metrology System und eine 3D Mapping Software enthalten. Das Gerät hat einen Waferdurchsatz von bis zu 1200 Wafern pro Stunde und kann je nach Schichtkomplexität bis zu 500 Muster pro Stunde handhaben. Es ist integriert und verfügt über eine umfangreiche Bibliothek für Optimierungsskripte, Prozessrezepte und Simulationsmodelle. Schließlich ist die Maschine sehr zuverlässig und enthält Selbstdiagnose, sowie mehrere Funktionen, um vor Fehlern zu schützen. FUSION M200PCU ist ein äußerst vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung von Wafern. Seine Flexibilität, Genauigkeit und hohe Durchsatzleistung machen es ideal für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und Lithographie. Mit seinen High-End-Funktionen und zuverlässiger Leistung kann dieses Tool die Produktivität erheblich steigern und die Produktionskosten drastisch senken.