Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314155 zu verkaufen

ID: 9314155
Wafergröße: 8"
UV Stabilizer / Bake system, 8" Chamber SMIF.
AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist eine Top-Belichtungsanlage zur Optimierung von Bewegungen und Automatisierung von Prozessen in der Waferbearbeitung. Dieses System verfügt über ein erweitertes Belichtungsmodul (AEM), das in der Lage ist, eine engere Overlay-Kontrolle als konkurrierende Systeme aufrechtzuerhalten. Diese fortschrittliche Technologie kann Muster empfindlich scannen und die Größe und Form der erzeugten Muster präzise verändern. Das Gerät verfügt auch über eine dreiachsige Stufe für erhöhte Präzision während der Belichtung. Die Maschine enthält eine Bildscan-Technologie, die detaillierte Bilder von Wafern bereitstellt, die zur schnellen Erkennung von Mustern über mehrere Chips verwendet werden. Diese Technologie kann auch Fehler mit hoher Genauigkeit erkennen und hohe Erträge gewährleisten, ohne die Gesamtproduktivität zu beeinträchtigen. Das Tool beinhaltet auch einen hochmodernen Dual Jet fokussierten Ionenstrahl (DJ-FIB), der eine hochpräzise Musterpositionierung mit schneller Wiederholbarkeit bietet. FUSION M200PCU bietet auch High-End-Automatisierung, die beispiellose Geschwindigkeit und Effizienz bietet. Der Vermögenswert ist in der Lage, verschiedene Arten von Forderungen auszuführen, einschließlich Resist, Chrom und Gold. Das Modell kann auch modernste Automatisierungen einbeziehen, um die Prozesszeiten zu optimieren, die Arbeitskosten erheblich zu senken und das Personal frei zu machen, sich auf andere Aufgaben zu konzentrieren. Schließlich bietet AXCELIS M200 PCU eine verbesserte Kontaminationskontrolle. Durch seine anaerobe Prozessisolierung blockiert das Gerät Verunreinigungen und Partikelaufbauten, die die gesamte Waferleistung beeinflussen können. Dieses System beinhaltet auch eine umfassende Ionenwäsche zur vollständigen Entfernung von Verunreinigungen. Abschließend bietet FUSION M 200 PCU fortschrittliche Automatisierung, präzise Bewegung und überlegene Kontaminationskontrolle. Die modernste Bildgebungstechnologie macht das Gerät ideal für schnelllebige Waferbearbeitungsvorgänge und liefert detaillierte Analysen und konsistente Ergebnisse. Mit seiner verbesserten Overlay-Steuerung, Präzisionsmusterpositionierung und verbesserten Prozesszeiten ist diese Maschine eine innovative Lösung zur Verbesserung der Waferbearbeitungseffizienz.
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