Gebraucht AXCELIS / FUSION M150PC MicroLite #9162462 zu verkaufen

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ID: 9162462
Photostabilizer Equipped with: M150PC Irradiator M150PC Chuck (2) Wafer handling stations M150PC Indexer M150PC Transporter EMO Power box Power supply: P104 Processor / Memory / Interface cards missing: CPU card (2) Wafer Handler interface cards System interface card Chuck interface card Human interface card Power supply interface card Includes: Photostabilizer operation Maintenance manual Power: Voltage: 208 Volts Frequency: 60 Hertz Phase: 3 Current: 21 Amps.
AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite Belichtungsgeräte sind eine leistungsstarke Lithographie-Option, die den anspruchsvollsten Produktionsanforderungen gerecht wird. Dieses System bietet eine hocheffiziente, kostengünstige Lösung für die Produktionslithographie. Das fortschrittliche Design und die Konstruktion des Geräts, das PascivalinesTM/DEC SeriaTM-Optik verwendet, bietet überlegene Leistung, Genauigkeit und Auflösung und ermöglicht eine effektive Produktion von Halbleiterstrukturen der nächsten Generation mit beispielloser Geschwindigkeit und Genauigkeit. Darüber hinaus sorgen proprietäre Luftlagerspindeln für eine hochgenaue Wafer-Handhabung und -Ausrichtung, während die SCSI-Steuerung eine enge Prozesssteuerung ermöglicht. Der kleine Formfaktor von FUSION M150PC MicroLite ermöglicht Flexibilität beim Produktionsaufbau und -integration. Das geringe Gewicht und die geringe Stellfläche machen es ideal für Trommel- und Warteschlangen-Setups in Lithographie-Suiten und allgemeinen Produktionsumgebungen. Darüber hinaus ermöglicht seine überlegene Bewegungsmechanik eine breite Palette von Wellenlängen und Leistungsstufen, was zu qualitativ hochwertigen Bildern und geringen Verzerrungen führt. AXCELIS M150PC MicroLite bietet eine einzigartige Kombination aus hoher Leistung, fortschrittlicher Optik und hervorragender Genauigkeit. Seine einfach zu bedienenden Bedienelemente ermöglichen einen schnellen und effizienten Betrieb, ohne Ausfallzeiten durch arbeitsintensive Reinigungszyklen. Darüber hinaus sorgen die integrierte mikroprozessorgesteuerte Maschinenüberwachungs- und Fehlererkennungssoftware für maximale Betriebszeit und genaue, wiederholbare Ergebnisse. M150PC das fortschrittliche lasergetriebene Direktantriebsdesign von MicroLite ist ideal für Serienanwendungen geeignet. Unter Verwendung eines modularen, hocheffizienten, leistungsschwachen optischen Designs ermöglicht es eine hohe Genauigkeit bei Lithographie-Prozessen. Es bietet auch eine niedrige Partikelerzeugung und eine außergewöhnlich kleine Spotgröße für hochauflösende Belichtung. Die Open-Architecture-Software von AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite ermöglicht die Integration in eine Vielzahl von Test- und Analysesystemen. Dies entspricht einer erhöhten Produktivität und Genauigkeit Ihrer Lithographie-Prozesse. Darüber hinaus bietet das erweiterte Betriebsprogramm Benutzern die Möglichkeit, auf Bildanalysesoftware wie SEM oder LDI zuzugreifen, diese zu speichern und zu betreiben. Insgesamt ist FUSION M150PC MicroLite eine effiziente und zuverlässige Wahl für fortschrittliche Produktionslithographie. Hoch optimiert und kostengünstig bietet es Präzision und Genauigkeit für eine Vielzahl von Lithographieverfahren. Dank seiner modernen Eigenschaften ist es ein wesentlicher Bestandteil der meisten Lithographie-Suiten.
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