Gebraucht AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9268836 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION M 200 PCU ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das für das Schreiben von Maskenbildern in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System bietet schnelle und zuverlässige Bildschreibfähigkeit, eine hervorragende Kantenplatzierungssteuerung und einen überlegenen Durchsatz. Mit seiner präzisen Lasersteuerung und der ausgezeichneten Linienbreitengenauigkeit ermöglicht FUSION M200PCU den Herstellern von Halbleiterchips, ihren Produktionsanforderungen gerecht zu werden. Das Gerät ist mit einer kompakten Stellfläche und einfacher Installation ausgelegt. Die optische Konfiguration besteht aus einer UV Hochleistungshochleistungslaserquelle, einem Scan-Leiter, einer darstellenden optischen Maschine und einem mit hoher Auflösung Balkenablenkungswerkzeug des Elektronbalkens (EB). Der Abtastkopf verwendet ein zweiachsiges Ablenkelement, das eine sehr enge Kontrolle über die Strahlabgabe ermöglicht, was zu zuverlässigen, präzisen und wiederholbaren Abbildungseigenschaften führt. AXCELIS M200 PCU bietet veränderbare Feldgrößenplatten, um unterschiedliche Belichtungsfeldzeiten und unterschiedliche Substratgrößen zu ermöglichen. Es ermöglicht auch die Integration von Besonderheiten wie variable Stufengeschwindigkeit, einheitliche und ungleichmäßige Abbildungsfelder und flexible Abbildungsfeldgrößen. Die Laserquelle wurde entwickelt, um hohe Leistung bei geringer Verschmutzung und Stromverbrauch zu liefern. Die Laserquelle verwendet ein fortschrittliches PWM-Modell, das langfristige Zuverlässigkeit und Stabilität gewährleistet. Die Laserquelle enthält auch eine eingebaute Kühleinheit, um den thermischen Abbau zu minimieren. Die EB-Ausrüstung wurde entwickelt, um eine ausgezeichnete Bildwiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit über einen längeren Zeitraum zu gewährleisten. Es verfügt über eine verbesserte Elektronenquelle für höhere Elektronenstrahlleistung und einen hochauflösenden, hochpräzisen Ablenker, um eine präzise Kontrolle über die Bildplatzierung zu bieten, wodurch es gut für Wafer-Musteranwendungen geeignet ist. AXCELIS/FUSION M200 PCU wurde entwickelt, um Flexibilität und überlegene Leistung für Maskenbild- und Wafer-Musteranwendungen in der Halbleiterindustrie zu bieten. Die präzise Lasersteuerung, das hochpräzise EB-System und die fortschrittlichen Konstruktionsmerkmale machen es zu einer ausgezeichneten Wahl, um die Anforderungen der Muster- und Lithographie-Prozessentwicklung zu erfüllen.