Gebraucht AXCELIS / FUSION Microlite 200 PCU #9095471 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU ist ein anspruchsvolles Belichtungsgerät, das die Manipulation und Herstellung von Halbleiterbauelementen erleichtert. Das System verwendet eine anpassbare Retikelstufe, die mehrere Retikel mit unterschiedlichen Substratmaterialien unterstützt und wiederholbare Leistung für Positionierung und Ausrichtung bietet. Die Scan-Steuerung ist für geräuscharmen Betrieb optimiert und kann in einer Vielzahl von Scan-Raten betrieben werden. FUSION Microlite 200 PCU bietet Dual-Strahl-Ausrichtung, die eine hohe Genauigkeit während der Ausrichtung bietet und die Ausrichtungszeit reduziert. Zu den Hauptmerkmalen der Einheit gehören eine präzise numerische Blendenverstellung, ein Schrittmotor und ein Getriebekopfmotor zur Fokussierung und Positionierung sowie eine dynamische Optimierung der Abtastrate und der optischen Stabilisierung. Die Photomaskenausrichtung wird von einer Echtzeit-Fokussiermaschine angesteuert, die mit einer rechnergesteuerten, servogetriebenen Retikelstufe eingebaut ist. Es verwendet zwei unabhängige optische Motoren, die hohe Genauigkeit und Präzision während des Ausrichtungsprozesses bieten. Das Tool ist in der Lage, Funktionen präzise zu registrieren, auch bei einer Scangeschwindigkeit von über 1000 Zyklen pro Sekunde. Der Photomask Changer ist ein vollautomatisches Asset, das schnell zwischen den verschiedenen Photomasken-Sets indexieren und wechseln kann. AXCELIS Microlite 200 PCU verfügt über einen Multi-Position Fringe Sensor (MPS) mit 4 Sensorköpfen. Dadurch wird dem Ausrichtungsprozess eine Genauigkeit hinzugefügt, indem eine Feinausrichtung des Retikels mit dem Überlagerungsrastermuster ermöglicht wird. Es ermöglicht auch die Ausrichtung mehrerer Merkmale gleichzeitig, was den Durchsatz und die Produktivität weiter erhöht. Die Reticle Selection Unit (RSU) bietet eine genaue, geräuscharme Retikle-Ausrichtung und der Schrittmotor und der Getriebekopfmotor bieten eine präzise Fokussierung und Positionierung. Darüber hinaus verfügt die AXCESMicrolite 200 PCU über eine effektive Kühllösung, die dem Modell die Möglichkeit gibt, verschiedene Substrate und Materialien zu handhaben. Außerdem ist eine Fernüberwachungseinrichtung vorgesehen, die eine effiziente Datenerfassung ohne manuelle Eingriffe ermöglicht. Das System ermöglicht auch eine schnelle Einrichtung mit mehreren Modulen, die leicht installiert werden können. Abschließend ist AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU eine fortschrittliche Belichtungseinheit, die eine Vielzahl von Funktionen bietet, die den Halbleiterherstellungsprozess effizienter und genauer machen sollen. Die Maschine bietet Dual-Strahl-Ausrichtung, präzise numerische Blendeneinstellung, MPS-Sensoren für präzise Ausrichtung und einen Multi-Position Fringe Sensor (MPS) für feinste und genaue Ausrichtung des Overlay-Rastermusters. Das Werkzeug verfügt auch über eine effektive Kühllösung für die Handhabung verschiedener Substrate und Materialien. Das Asset ist auch mit einer Vielzahl von Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die die Produktivität erhöhen, die Ausrichtungszeit reduzieren und eine effiziente Datenerfassung ermöglichen.