Gebraucht AXCELIS / FUSION PS3 #293742986 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION PS3 Belichtungsgerät ist eine fortschrittliche Photolithographie-Maschine für fortschrittliche Halbleiterverarbeitung entwickelt. Unter Verwendung einer zuverlässigen Ionenquelle liefert FUSION PS3 hochgenaue und konsistente Belichtungen von Geräteeigenschaften in verschiedenen Substratmaterialien und Konstruktionsgeometrien. Das System unterstützt sowohl Photoresist als auch Nicht-Photoresist-Prozesse und bietet eine verbesserte Auflösung und Konsistenz der Funktionen gegenüber herkömmlichen Lithographieverfahren. Die Plattform verfügt über einen linearen Scanner mit 10 Mikrometer Auflösung mit einer maximalen Geschwindigkeit von bis zu 2000 Zeilen/Sekunde. Ein großes Sichtfeld und eine schnelle Abtastgeschwindigkeit ermöglichen eine schnelle Übertragung von Gerätemustern bei gleichzeitiger Erzeugung überlegener Merkmalsdetails. Darüber hinaus bietet AXCELIS PS 3 durch sein hochflexibles, konfigurierbares Plattformdesign einen verbesserten Durchsatz. Sein Roboterkassettenlader optimiert die Mehrgeräteproduktion, während eine automatisierte Belichtungssteuerung die Belichtungszeiten entsprechend anpasst, um eine kontinuierliche Wiederholbarkeit und hohe Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die präzise optische Transportmaschine PS3 ermöglicht einen genauen Fokus über die gesamte Substratoberfläche für hohe Seitenverhältnisse und erhöhte Gleichmäßigkeit. Sein aktives Kontrollwerkzeug mindert alle optischen Ausrichtungs- und Verzerrungsprobleme und ermöglicht hochgenaue Verarbeitungsergebnisse. Mit der hochempfindlichen, hochpräzisen Fotomasken-Ausrichtungs- und Messtechnik der Plattform können auch komplexe Geräteeigenschaften verarbeitet werden. Mit einer effektiven Ausrichtungstoleranz von 10nm, einem hohen Signal-Rausch-Verhältnis und einem niedrigen Unterauflösungs-Ausrichtungssignal überträgt das Asset genaue Minuteninformationen. Insgesamt bietet AXCELIS PS3 erweiterte Verarbeitungsfunktionen für hochvolumige und fortschrittliche Halbleiterproduktion. Mit der Fähigkeit, kleine Merkmale und Muster präzise zu drucken, sorgt das Modell für hohe Präzision und Wiederholbarkeit, was zu hohen Produkterträgen führt. Es ist sehr flexibel, konfigurierbar und präzise, so dass es eine leistungsstarke Plattform für die fortschrittliche Geräteverarbeitung.