Gebraucht AXCELIS / FUSION PS3 #9228099 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION PS3 ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für Photolithographie-Prozesse in der Halbleiterindustrie. Das FUSION PS3-System ist eine hochmoderne Einheit, die die traditionellen DUV-Photolithographie-Funktionen durch höhere Auflösung, bessere Reproduzierbarkeit und schnelleren Durchsatz verbessert. AXCELIS PS 3 verfügt über eine umfassende Reihe von Funktionen, die die Endergebnisse von Photolithographie-Prozessen verbessern sollen. Die Maschine nutzt eine Vielzahl von Werkzeugkonfigurationen, um präzise Schicht-zu-Schicht-Ausrichtung und Multi-Feld-Wafer-Scanning-Fähigkeit zu ermöglichen. Die Hochgeschwindigkeits-, Hochauflösungs-Scan- und Ausgabefunktionen von PS3 können Wafer bis zu 500 x 500 mm Feldgröße mit einer Auflösung von 0,17 μ m erzeugen. Darüber hinaus unterstützt AXCELIS PS3 eine breite Palette empfindlicher Wafersubstrate für die fortschrittlichsten Prozesse. Die digitale Substrat-Neigungskompensation des Werkzeugs ermöglicht eine schnelle und genaue Wafer-Bildgebung, während die fortschrittlichen Wafer-Verfolgungs- und Belichtungssteuerungssysteme eine konsistente Wafer-Ausrichtung gewährleisten. Die fortschrittlichen Verarbeitungssysteme von AXCELIS/FUSION PS 3 bieten verschiedene Optionen für Materialien, Resist-, Scangeschwindigkeit, Schussreduzierung und Ätzverbesserung. Werkzeugauswahl und Kombinationen von Hard- und Software können je nach Prozessanforderungen angepasst werden. Das Wafer-Ladevermögen von FUSION PS 3 bietet eine erhöhte Flexibilität für hohe Durchsatzanforderungen. Darüber hinaus stehen eine Vielzahl von hochpräzisen Optikpaketen zur Verfügung, um den Kunden höchste Verarbeitungsgenauigkeit zu bieten. Das PS 3-Modell wird durch eine umfassende Palette von Service- und Supportprogrammen abgedeckt, um die Kontinuität der Kundenprozesse zu gewährleisten. Präventive Wartung, Ausrüstungsreparaturen, Ersatzteillieferungen und technische Schulungen gehören zum Gesamtpaket. Darüber hinaus bietet FUSION eine schnelle Lösung für Kundenanfragen. Insgesamt ist das fortschrittliche Belichtungssystem AXCELIS/FUSION PS3 ein ausgezeichnetes Werkzeug für photolithographische Verarbeitungsanwendungen. FUSION PS3 kombiniert höchste Leistungsfähigkeit mit der neuesten Technologie und bietet die fortschrittlichsten und zuverlässigsten Photolithographielösungen.