Gebraucht AXCELIS / FUSION PS3 #9230281 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION PS3
ID: 9230281
Wafergröße: 12"
UV Cure system, 12" Dual chamber.
AXCELIS/FUSION PS3 ist eine fortschrittliche, leistungsstarke und kostengünstige Belichtungsanlage, die bei der Herstellung und Herstellung von High-Tech-Komponenten wie Halbleiterscheiben und integrierten Schaltungen eingesetzt wird. Dieses System unterstützt Advanced Technology Manufacturing und basiert auf Jahrhunderten von Optik, Metallen und Präzisionsmaschinen-Design-Praxis, um Spitzenleistung zu erzielen. FUSION PS3 besteht aus einer Reihe von Komponenten, darunter eine Lichtquelle, eine Retikelstufe, ein Objektiv, Kamera, Maskierung und Musterstich. Die Lichtquelle, entweder Quecksilber oder Argonlaser, die einen Wellenlängenbereich von 365 bis 436 Nanometern emittiert, wird verwendet, um ein gesteuertes Muster auf die Retikelstufe zu projizieren. Ein Retikel ist eine Maske, mit der ein definiertes Muster auf dem Wafer freigelegt wird. Das Retikel wird in einem Vakuumrahmen gehalten, so daß sich das Muster nicht relativ zu dem zu strukturierenden Substrat bewegt. Die Linse erfasst das vom Laser emittierte Licht und lenkt es in Richtung der Retikelstufe. Diese Linse besteht typischerweise aus geschmolzener Kieselsäure und ist so ausgelegt, dass sie ein flaches Gesichtsfeld liefert, so dass das Muster präzise gebildet wird. Die Kamera dient zur Inspektion von Objektiv und Retikel, während die Maskiereinheit dafür sorgt, dass alle Prozessparameter eingehalten werden. Die Musternähte bieten eine Möglichkeit, die Position jedes Musters über den Wafer genau zu bestimmen. Neben den Komponenten von AXCELIS PS 3 umfasst diese Maschine einen prädiktiven Controller, der eine Reihe ausgeklügelter Algorithmen verwendet, um den Prozess zu optimieren. Diese Steuerung überwacht ständig die Leistung des Werkzeugs und passt die Parameter an, um die besten Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine integrierte Sicherheitsfunktion, mit der das Modell im Falle eines Prozessfehlers heruntergefahren wird. AXCELIS PS3 ist in der Lage, eine breite Palette von Mustern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu produzieren. Dieses Gerät kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie Lithographie, Ätzen, Photolithographie und Plasmaverbesserung eingesetzt werden. Darüber hinaus ist AXCELIS/FUSION PS 3 in der Lage, Wafer-Mapping, Fehlerinspektion und dielektrische Tests durchzuführen. Dieses System bietet eine Reihe von fortgeschrittenen Eigenschaften einschließlich eines Hochleistungsmusteranerkennungsmotors und eines Mehrniveaudatenholzfällers mit dem automatischen Datenarchivieren. Dieses Gerät enthält auch eine Reihe von Software-Tools zur Steuerung, Überwachung und Analyse des Belichtungsprozesses. Insgesamt ist PS 3 eine zuverlässige und leistungsstarke Belichtungsmaschine, die in einer Vielzahl von Branchen und Anwendungen eingesetzt werden kann. Seine Präzision, Leistung und Kosteneffizienz machen es zu einer intelligenten Wahl für High-End-Anwendungen, die fortschrittliche Prozesskontrolle und Genauigkeit erfordern.
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