Gebraucht AXCELIS / FUSION PS3 #9240661 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION PS3
ID: 9240661
Wafergröße: 12"
UV Cure system, 12", parts machine Process: UVH Non functional.
AXCELIS/FUSION PS3 ist ein Belichtungsgerät, das Herstellern hilft, fortschrittliche fotografische und gedruckte Geräte wie Leiterplatten, Flachbildschirme und Biosensoren zu produzieren. FUSION PS3 ist ein hochmodernes Photolithographiesystem, das eine hochwertige Strukturierung für die Entwicklung von IC-Chips (Integrated Circuit) bietet. Es kombiniert fortschrittliche optische, mechanische und elektronische Hardware sowie anspruchsvolle Software-Tools zur Musterung und Messtechnik. Im Kern verfügt AXCELIS PS 3 über eine obere und untere großflächige Belichtungseinheit mit euzentrischem Punkt, angetrieben von einem echten ArF-Lithographielaser mit 193 nm und 13 cm Durchmesser. Dies bietet eine hervorragende Fokus- und Auflösungsfähigkeit und die obere und untere Maskenplatte Handler, bietet ein 19,75-Zoll-mal-19,75-Zoll-Format und Scanraten von bis zu 40 Zoll pro Sekunde, zusammen mit einem höheren Durchsatz von 10 Wafern pro Stunde, die Produktionszykluszeiten verringern können. AXCELIS/FUSION PS 3 verfügt zudem über Substratbewegungssteuerungs- und Bildfokuseinstellsysteme, so dass die Belichtung präzise und präzise erreicht werden kann. Dies ermöglicht es Benutzern, hochintegrierte ICs mit feiner Auflösung, hohem Durchsatz und ausgezeichneter Overlay-Genauigkeit zu mustern. Es ermöglicht ihnen auch, die Vorteile fortschrittlicher optischer Funktionen wie echte Polarisation und variable Belichtungsfunktionen für die Entwicklung der fortschrittlichsten IC-Produkte zu nutzen. Darüber hinaus verfügt FUSION PS 3 über eine präzise Musterprozesssteuerung für präzise Lithographie, auch bei geringen Belichtungen, sowie eine leistungsstarke Software-Suite, mit der Anwender komplizierte Muster und präzise Ergebnisse schnell programmieren und verarbeiten können. Eine Reihe von messtechnischen Werkzeugen, einschließlich Vor- und Nachbelichtungsausrichtung, stehen auch für konsistente Ergebnisse zur Verfügung. Schließlich bietet PS 3 eine verbesserte Umweltkontrollmaschine, die den genauen Betrieb des Werkzeugs gewährleistet, mit weniger Auswirkungen auf Luftschadstoffe und verbesserter Energieeffizienz. Diese integrierte Umweltsteuerung beinhaltet einen Energiesparmodus, der den Stromverbrauch reduziert, und eine niedrige allgemeine Abgasschaltfläche, die schädliche Emissionen reduzieren kann. AXCELIS PS3 ist eine leistungsfähige und zuverlässige Photolithographie-Anlage, die erweiterte Belichtungsfähigkeit bietet, um die IC-Geräte von morgen zu produzieren. Es kombiniert fortschrittliche Hard- und Software, um präzise Muster- und Messtechnikfunktionen mit verbesserten Durchsatz- und Umweltkontrollfunktionen anzubieten.
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