Gebraucht AXCELIS / FUSION PS3 #9240662 zu verkaufen
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ID: 9240662
Wafergröße: 12"
UV Cure system, 12"
Process: UVH
PM1: HS (Missing PC, PS)
PM2.
AXCELIS/FUSION PS3 ist eine Expositionsausrüstung, die entwickelt wurde, um lithographische Belichtungsfähigkeiten des Industriestandards bereitzustellen. Dieses System ist der Nachfolger der FUSION-Plattform, die mehrere signifikante Upgrades und Verbesserungen bietet. Dieses Gerät nutzt Spitzen-Laser-Scanning-Technologie, um überlegene Auflösung und sehr enge, wiederholbare Musterung zu bieten. Es hat einstellbare Funktionsgrößen von 4 Mikrometer bis 10 Mikrometer. Es verfügt außerdem über einen Hochleistungslaser mit einer Ausgangsleistung von bis zu 2000 Watt, der schnellere Belichtungen sowie einen höheren Durchsatz ermöglicht. Die Maschine hat eine große, feine, mechanische Brücke, um eine Vielzahl von Belichtungsfeldern abzudecken, bis zu 12 Zoll. Diese Brücke kommt mit einer Vielzahl von verstellbaren Haltern für lithographische Masken einschließlich BGA, LGA und Spezialmasken. Das Werkzeug verfügt auch über mehrere Deckeltypen und -größen, um größere Substrate unterzubringen. FUSION PS3 Asset verfügt über fortschrittliche Düsen-Designs, die mit einem Fokus auf verbesserte Maßgenauigkeit und minimale Vibrationen entworfen werden. Dies gewährleistet eine überlegene Mustergenauigkeit des Substrats und bietet gleichzeitig eine sicherere Umgebung mit niedrigeren Geräuschpegeln. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Vielzahl von Belichtungsoptionen, darunter fokussierte Strahl-, reflektierende und Overlay-Optionen. Diese Vielfalt bietet Benutzern die Möglichkeit, ihre Expositionsanforderungen genau zu erfüllen und gleichzeitig Geschwindigkeit und Durchsatz zu verbessern. Last, but not least, diese Ausrüstung kommt auch mit einer umfassenden Suite von Software-Tools, um seine Fähigkeiten zu maximieren. Die gebündelte Software bietet Analysefunktionen, mit denen Benutzer Musterfehler identifizieren und entfernen können, während die Projektion mit den Konstruktionsdaten übereinstimmt. Es verfügt auch über automatische Fehlererkennungsfunktionen, die dazu beitragen, die Qualität der Substratmuster sicherzustellen, wodurch das Risiko kostspieliger Fehler und Nacharbeiten reduziert wird. Insgesamt ist AXCELIS PS 3 ein leistungsfähiges und zuverlässiges System für moderne lithographische Belichtungsanforderungen. Diese Einheit könnte eine ideale Lösung für Prozesse wie fortschrittliche Verpackung, Herstellung von Stiftgeräten und Herstellung von biomedizinischen Geräten sein.
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