Gebraucht AXCELIS / FUSION PS3 #9241297 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION PS3 ist eine Belichtungseinrichtung, die für den Einsatz in der Photolithographie zur Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Funktionen so klein wie 0,25 Mikrometer und bis zu einem Zoll im Durchmesser zu belichten. Das fusionierte FUSION PS3-System umfasst einen leistungsstarken Host-Computer, der den Betrieb der Maschine steuert, sowie eine UltraViolet (UV) -Lichtquelle und Präzisionsstufen. Die Lichtquelle für die Belichtungseinheit ist eine Lichtbogenlampe, die UV-Licht emittiert. Die Maschine verfügt über eine Hochgeschwindigkeitsabtastung, einen präzisen UV-Sensor zur Messung der Intensität der Lichtquelle und eine präzise Steuerung der Positionierung der beweglichen Stufen zur genauen Ausrichtung der Maske und des freiliegenden Wafers. Das Werkzeug hat eine maximale Abtastgeschwindigkeit von 30ms pro Zyklus und eine Z-Schrittgenauigkeit von 0,3 Mikron. Der Merkmalssatz von AXCELIS PS 3 ermöglicht eine schnelle und genaue Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit seiner integrierten präzisen Bühnenpositionierung und einer Reihe von Betriebsarten können Benutzer die genauen Parameter einwählen, die erforderlich sind, um einen hohen Durchsatz zu erhalten und gleichzeitig die Funktionalität zu gewährleisten. Das Exposure Asset verfügt über eine vollständige Prozesssteuerung mit Rückmeldung des Wafers über ein internes Qualitätskontrollmodell, das eine strenge Kontrolle über den gesamten Fertigungsprozess ermöglicht. Das Gerät ist konfigurierbar, um eine Vielzahl von einzigartigen Prozessen zu automatisieren, z. B. einen Wafer, der mit zwei oder mehr verschiedenen Masken belichtet wird. AXCELIS/FUSION PS 3 Belichtungssystem ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Photolithographieverfahren bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen konzipiert. Sein leistungsstarker Host-Computer ermöglicht eine präzise Kontrolle des gesamten Prozesses, während sein Hochgeschwindigkeits-Scan, sein präziser UV-Sensor und seine hochgenauen Stufenpositionierer eine schnelle und genaue Geräteherstellung ermöglichen.