Gebraucht AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9273833 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC ist eine Expositionsanlage der nächsten Generation, die die Entwicklung fortschrittlicher Halbleiterprozesse erleichtert. Das System verfügt über ein 320mm Durchmesser, variable Geschwindigkeit Wafer Futter und eine hochpräzise Wafer Ausrichtung Einheit, so dass die Produktion von sehr feinen Designs ohne die Notwendigkeit von komplexen und kostspieligen Nachbearbeitungsverfahren. Ausgestattet mit einer Deep-UV-Laserquelle aus der Xpress-Familie (oder dem FusionHead) und einem einzigartigen Beleuchtungsdesign für kundenspezifische asphärische Linsen und Schlitzbeleuchtung ist FUSION RapidCure 320FC das perfekte Werkzeug für die Entwicklung von Prozessknoten unter 20 nm Größe. Seine hochgenaue Wafer-Ausrichtmaschine sorgt dafür, dass auch sehr kleine Merkmale korrekt ausrichten. Das RapidCure bietet eine ausgezeichnete Expositionsgleichförmigkeit über die gesamte Oberfläche mit einer Varianz von weniger als 1% in der Expositionszeit und -dosis. Das Werkzeug verwendet zwei Filter, die je nach Prozessanforderung unterschiedliche Lösungen ermöglichen, und seine hochgenaue Dosissteuerung sorgt für aktuelle Ergebnisse für jeden Bearbeitungsschritt. AXCELIS RapidCure 320FC verfügt zudem über eine fortschrittliche digitale Eingabe/Ausgabe-I/O zur Steuerung der Fokushöhe, die zudem komplizierte, wiederholte Stepper-Bewegungsprofile in Kombination mit Bildgebung ermöglicht. Die Anlage integriert gleichzeitig eine statische Plasmaquelle und ein präzise gesteuertes Absperrventil für eine gleichmäßige Kammerumgebung. Der schnelle Aushärtungsprozess sorgt dafür, dass der Photolacksatz jedes Mal konsistent abgeschlossen wird und die Lebensdauer der verwendeten Wafer und Masken verlängert wird. Das integrierte Kühlmodell sorgt für geringe thermische Schwankungen und hohe Leistungsstabilität. Schließlich ist RapidCure 320FC in der Lage, Simulationen und OPC-Kalibrierung mit seinen erweiterten Schnittstellenfunktionen und Unterstützung für verschiedene Belichtungs-Tool-Anbieter zu verarbeiten. Mit einer Kombination aus automatisierten Rezepten, Live Exposure Process Verification und erweiterten Reporting-Tools bietet RapidCure die neuesten Funktionen für die Prozessentwicklung.