Gebraucht AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9293675 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC
ID: 9293675
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
UV Anneal system, 12" 2007 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät, das im Vergleich zu herkömmlichen Methoden eine verbesserte Nutzung und Genauigkeit bietet. Dieses System ist für die präzise Kontaktheilung der Einpass-Laserlithographie konzipiert. Es ist für die Kontaktbelichtung über eine breite Palette von Substratmaterialien möglich, von wenigen Mikrometern bis zu einigen Millimetern Dicke. FUSION RapidCure 320FC ist in der Lage, Belichtungszeiten von etwa 30 bis 60 Minuten für Standard-Substrate und 10 bis 40 Minuten für empfindliche Substrate zu erreichen. Darüber hinaus verfügt diese Einheit über eine benutzerfreundliche Programmierschnittstelle, die den Belichtungsprozess vereinfacht. AXCELIS RapidCure 320FC verfügt über eine robuste laserbasierte optische Maschine, die eine maßgeschneiderte Wellenlänge verwendet, um die jeweilige Heilanwendung anzupassen. Seine Feldkrümmung ist einstellbar und ermöglicht eine präzise Ausrichtung des Fokus auf die Wafer. Darüber hinaus machen das lineare Servomotor-Antriebswerkzeug und die lineare Positionierungstechnologie dieses Asset zuverlässiger für eine schnelle und genaue Heilung. In puncto Sicherheit verfügt RapidCure 320FC über eine Reihe von Funktionen zum Schutz von Mensch und Eigentum. Dazu gehören ein leicht zugänglicher Schutz, ein Not-Aus-Knopf, ein integriertes Anti-Kollisionsmodell und eine fortschrittliche thermische Sicherheitsausrüstung. Darüber hinaus verfügt es über eine automatisierungsfähige Fähigkeit, die es Anwendern ermöglicht, das System einfach in automatisierte Produktionsprozesse zu integrieren. AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC hat auch eine Reihe von Vorteilen für Benutzer. Dazu gehören ein kontaminationsfreier Betrieb, Energieeffizienz und eine verbesserte Produktivität. Das Gerät verfügt über eine integrierte hochauflösende und turbulenzarme Luftmaschine, die weiterhin eine gleichmäßige Luftströmung und Temperatur im Arbeitsbereich gewährleistet. So trägt FUSION RapidCure 320FC dazu bei, die Produktionskosten zu senken und die Qualitätssicherung zu verbessern. Insgesamt ist AXCELIS RapidCure 320FC ein fortschrittliches Belichtungswerkzeug, das es Anwendern ermöglicht, empfindliche Substrate schnell und präzise zu heilen. Seine benutzerfreundliche Oberfläche, zuverlässige Bedienung, Sicherheitsfunktionen und automatisierungsfähige Fähigkeiten machen dieses Asset zu einer zuverlässigen Wahl für viele Lithographie-Prozessanwendungen.
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