Gebraucht AXCELIS / FUSION Summit XT #293627840 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Summit XT ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für die Lithographie. Es ist ideal für Anwendungen wie erweiterte Speicher und logische integrierte Schaltungen Herstellung und andere hochpräzise Lithographie-Prozesse. Das System ist auf maximale Effizienz und Flexibilität ausgelegt, so dass der Anwender seine Prozesse für das jeweilige Gerät oder die Plattform optimieren kann. Das Gerät verfügt über ein Multichannel, Top-of-the-line, 4kWxtal Optik-Produkt. Dies ermöglicht eine erweiterte Leistung über mehrere Wellenlängen und Polarisationswinkel. Die Maschine verfügt auch über eine vollständige Scan-Steuerung und eine fortschrittliche automatische Belichtungssteuerung, die eine genaue und präzise Kontrolle über Wafer-Querschnitte und -Belichtungen ermöglicht. Das Tool verfügt auch über automatisierte Ausrichtungs- und Quellkalibrierungsfunktionen und ist mit Prozesssteuerungssoftware integriert, die eine optimierte Asset-Performance und erhöhte Durchlaufzeiten ermöglicht. FUSION Summit XT ist ein integriertes Modell mit patentierter Luftlagerstufe und automatisiertem Ladeanschluss. Dies bietet einen hochpräzisen und reibungslosen Stufenbetrieb sowie einen hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit. Das Gerät verfügt auch über mehrere Substratkonfigurationen, darunter bis zu acht Substrate pro Kammer, zwei aktive Substrate und bis zu 128 Schritte pro Belichtung und + -15 Waferkantenvorspannung. Dies ermöglicht es, eine Vielzahl von Benutzeranforderungen effektiv zu erfüllen, von einschichtigen bis zu mehrschichtigen Verarbeitungsanwendungen. AXCELIS Summit XT wird mit einem umfassenden Softwarepaket geliefert, das alle Funktionen und Funktionen bietet. Dies umfasst eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, einschließlich umfassender Prozesskontrolle, Systemwartung und Datenverwaltung. Als Teil dieses Pakets enthält das Gerät eine Reihe von erweiterten Werkzeugen, um den Betrieb der Maschine zu vereinfachen und zu rationalisieren. Dazu gehören einfache Substratprogrammierung und -kalibrierung, schnelles Setup und Zugriff auf Auftragsdaten, komplette Waferdatenspeicherung mit Line-by-Line-Mapping, automatisierte Prozessverfolgung und -steuerung und vieles mehr. Insgesamt bietet das hochentwickelte Belichtungs-Tool Summit XT überlegene Leistung und Fähigkeit für Prototyping und Produktionsverarbeitungsanforderungen. Mit fortschrittlicher Optik und integrierter Software ermöglicht das Asset Benutzern, ihre Prozesse an ihre gewünschten Endverwendungen anzupassen. Darüber hinaus sorgen die umfassenden Sicherheitsfunktionen für Datenschutz und optimierte Anwenderprozesse für maximale Effizienz.