Gebraucht AXCELIS / FUSION Summit XT #9107033 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Summit XT ist eine integrierte Ausrüstung zur präzisen Waferbelichtung im Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen. Es besteht aus einer Reihe von verschiedenen Komponenten, darunter einem ultrahochauflösenden Schrittmotor, einer Vakuumkammer, einer Fokus- und Ausrichtungsanordnung, einer Photomaske und einem robusten Robotersteuerungssystem. Die Systeme sind in der Lage, Submikron-Design-Regelkonformität zu erreichen, um überlegene Auflösungsgeräte zu produzieren. Der Schrittmotor ist ein wichtiger Bestandteil der Einheit und ermöglicht eine präzise Bewegung des Belichtungsfeldes, um eine konsistente Ausrichtung und genaue Belichtung zu gewährleisten. Die hohe Auflösung des Motors unterstützt die Herstellung extrem kleiner Strukturen, wie Schaltungspfade, Kontaktfinger und sogar die kleinsten Gräben. Die Vakuumkammer verhindert, dass unerwünschte Luft- und Umweltverunreinigungen in die Maschine gelangen. Es wirkt als Drucksperre zwischen dem Belichtungsaggregat und der Außenumgebung, so dass das Werkzeug sauber bleibt. Die saubere Umgebung ist ein Schlüsselfaktor für die Erzielung konsistenter Bildqualität sowie wiederholbarer Ergebnisse über mehrere Chips hinweg. Die Fokus- und Ausrichtungsbaugruppe dient zur Ausrichtung der Photomaske und des Wafers vor dem Belichtungsprozess. Dadurch wird sichergestellt, dass die belichteten Muster genau und präzise sind. Die Montage trägt auch dazu bei, dass die Fotomaske in Bezug auf den Wafer korrekt ausgerichtet ist, wodurch die Möglichkeit einer Fehlausrichtung, die zu Fehlern oder Schwankungen der Geräteeigenschaften führt, minimiert wird. Die Photomaske enthält die Muster, die während des Belichtungsprozesses auf den Wafer übertragen werden. Die Genauigkeit und Auflösung des Maskendesigns hat direkten Einfluss auf die Qualität der Musterung und anschließend auf die Eigenschaften des Gerätes. Schließlich ist die Robotersteuerung für die Steuerung der Bewegungen des Schrittmotors und der Fokus- und Ausrichtungseinheit verantwortlich, um sicherzustellen, dass das Modell vorhersehbar und konsistent betrieben wird. Das Gerät verfügt über verschiedene Rückkopplungsmechanismen, die Fehler oder Anomalien im System erkennen und automatisch auf Abweichungen vom normalen Betrieb reagieren können. Zusammenfassend ist FUSION Summit XT eine umfassende Einheit, die für eine präzise Waferbelichtung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Seine fortschrittlichen Komponenten sind auf Genauigkeit und Zuverlässigkeit optimiert, um hochauflösende Geräte von gleichbleibender Qualität herzustellen.