Gebraucht AXCELIS / FUSION Summit XT #9189027 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Summit XT ist eine Vorbelichtungsanlage für kommerzielle Lithographieverfahren, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Es ist ein vollautomatisches 3-Achsen-System, das von Präzisionsmotor-Aktuatoren angetrieben wird, die für die Bilddurchsatz- und Hochgenauigkeitsschichtdefinition optimiert sind. Es verfügt über eine fortschrittliche optische Einheit mit einem 100-Watt-Laser-beleuchteten Projektionsgerät und einem motorisierten Masken-Aligner, der sowohl hohe als auch niedrige Serien bedienen kann. FUSION Summit XT wurde entwickelt, um hochvolumige kristalline Photolithographie-Prozesse durch den Einsatz fortschrittlicher Optik zu maximieren. Die modulare Architektur ermöglicht die Integration in bestehende Produktionsinfrastrukturen mit einem breiten Spektrum an Belichtungsmodi. Die Maschine ist mit anspruchsvollen Software-Steuerungssystemen ausgestattet, die die Werkzeugleistung optimieren und einen zuverlässigen, konsistenten Betrieb gewährleisten. Es kann verwendet werden, um sehr komplexe Muster mit hoher Präzision und Genauigkeit zu produzieren. Das optische Asset von AXCELIS Summit XT ermöglicht es, sowohl positive als auch negative Belichtungsschichten zu belichten und dabei die Belichtungsfläche von mindestens 0,1 bis maximal 50 um zu variieren. Seine Projektionsbildgebung ermöglicht es, hochauflösende Bilder zu erfassen, was eine qualitativ hochwertigere Bildübertragung von Photomaske zu Wafer ermöglicht und so die Zykluszeiten reduziert. Darüber hinaus ermöglicht die modulare und kundenspezifische Hardware, kombiniert mit automatisierter Prozessfähigkeit, mehrere Waferprozesse im gleichen Betrieb und maximiert so die Produktionseffizienz. Diese Funktion ermöglicht die Vorprogrammierung und Automatisierung der Prozesse für verschiedene Schichten des Wafers ohne Eingriff des Bedieners oder Umprogrammierung. Die integrierte Softwareplattform von Summit XT umfasst Tools zur Prozesssteuerung und Leistungsoptimierung wie Prozesssteuerung, effektive Dosiszuordnung, Waferausrichtung, Fokussteuerung, Barcode-Erkennung, Skriptbearbeitung, Bildaufnahme und mehr. Diese Software Schnittstellen mit einer breiten Palette von zugehörigen externen Lithographie-Tools zur Optimierung der Modellleistung und der gefertigten Ausbeute. AXCELIS/FUSION Summit XT umfasst auch eine breite Palette von Sicherheitsfunktionen zum Schutz des Personals und der Ausrüstung sowie ein fortschrittliches Umweltkontrollsystem, um überlegene bildgebende Bedingungen zu gewährleisten. Das Gerät kann auf eine Vielzahl von Kundenbedürfnissen zugeschnitten werden und wird durch globalen Service und Support unterstützt. Zusammenfassend ist FUSION Summit XT eine fortschrittliche und automatisierte Belichtungsmaschine, die sich gut für Produktherstellungsprozesse mit hohen Stückzahlen eignet. Es verfügt über ein modernes optisches Tool, das an spezifische industrielle Anforderungen angepasst werden kann, und eine robuste Softwareplattform. Diese Anlage wurde entwickelt, um die Prozessleistung und den produzierten Ertrag zu optimieren und gleichzeitig die Sicherheit des Personals und die Umweltkontrolle zu gewährleisten.