Gebraucht AXCELIS / FUSION Summit XT #9235774 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Summit XT ist eine fortschrittliche Belichtungsanlage, die den spezialisierten Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses System ermöglicht die Herstellung der anspruchsvollsten Mikrostrukturen und Gerätefunktionen mit der höchsten Auflösung und Overlay-Genauigkeit. Es verfügt über eine ultrahohe Durchsatz-Plasmaquelle, die Ionenimplantationsgeschwindigkeit bis zu 800nm/min ermöglicht und eine unübertroffene Bildgebungseinheit, die höchste Auflösung und Genauigkeit ermöglicht. FUSION Summit XT ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu belichten, von Bulk-Silizium-Wafern bis zu SynGap™ Wafern, die ultradünne Nanoschichten enthalten. Die Maschine umfasst eine fortschrittliche proprietäre Bildanalyse und Verbesserungssoftware, die die Wartung extrem kleiner Funktionsgrößen ermöglicht und gleichzeitig die höchste Ebene der Substratebene gewährleistet. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Tool zur Schnellautomatisierung, das eine hohe Wiederholbarkeit bietet und es Anwendern ermöglicht, sich schnell an Änderungen in Fertigungsmodellen anzupassen, ohne auf Genauigkeit zu verzichten. Das Asset kann durch zusätzliche Cluster und Module, einschließlich eines Gasliefermodells und einer optionalen Plasmaanregungsquelle, weiter aufgewertet werden. AXCELIS Summit XT verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche, die eine einfache und effiziente Rezeptentwicklung, Bedienung und Geräteüberwachung ermöglicht. Es hat auch eine integrierte Festplatte, wo Rezepteinstellungen und Systemprotokolldaten gespeichert werden können. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem eingebetteten Maschinensteuerungsprozessor ausgestattet, der eine automatisierte Steuerung und Echtzeit-Werkzeugüberwachung ermöglicht. Diese Maschine wurde für den Einsatz in einer 24/7-Produktionsumgebung entwickelt und bietet hohe Zuverlässigkeit und Robustheit. Es verwendet eine spezielle Klimaanlage, um die erforderliche Temperatur und Luftfeuchtigkeit aufrechtzuerhalten, und ist umwelt- und ESD-konform für empfindliche Geräte. Summit XT ist die perfekte Lösung für die Produktion von hochvolumigen Halbleitern. Mit seiner Hochgeschwindigkeits-Bildauflösung und der erstklassigen Substrathandhabung ist dieses Modell ein Muss für jede modernste Wafer-Fertigungsanlage.