Gebraucht AXCELIS / FUSION Summit XT #9352620 zu verkaufen

ID: 9352620
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
AXCELIS/FUSION Summit XT ist eine umfassende und robuste Belichtungsanlage, die für extrem präzise und präzise Photomasken entwickelt wurde. FUSION Summit XT ist in der Lage, eine breite Palette von Photomasken mit einer Vielzahl von Medien und Wellenlängen von 248nm (KrF) bis 405nm (UV) zu belichten. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Medien von Quarz über Glas bis zu Metall zu verarbeiten. Das System verfügt über eine sechsseitige, vollständig geschlossene und vibrationsisolierte Umgebung, um höchste Qualität und Genauigkeit in belichteten Photomasken zu gewährleisten. Seine in einer Prozession gehenden Hochleistungsfähigkeiten machen es passend für die anspruchsvollsten Fotomaskenanwendungen. Eine patentierte Wafer- und Photomasken-Abtasteinheit ermöglicht eine außerordentlich gleichmäßige Belichtung über die Photomaske, wodurch der Bedarf an aufwendigen und energieintensiven Neuausrichtungen reduziert wird. AXCELIS Gipfel XT unterstützt eine Reihe von Präzisionsfotomaskenschausystemen, einschließlich Sichtprüfungssysteme, Mikroskope und Lasermesssysteme. Dies ermöglicht eine detaillierte Untersuchung von Photomaskenrändern und anderen kritischen Merkmalen, die die Genauigkeit des Belichtungsprozesses beeinflussen können. Darüber hinaus steht eine Reihe von Expositionsmessgeräten zur Verfügung, um Veränderungen der Exposition zu überwachen und die Maschinenleistung zu überprüfen. Summit XT wurde entwickelt, um sehr hochauflösende Muster zu handhaben und unterstützt die Belichtung mit hoher Präzision. Seine branchenführende Ausrichtungsgenauigkeit führt zu einer außergewöhnlichen Overlay-Leistung und kann die Ausbeute an Photomasken-Fertigungsprozessen verbessern. Das Tool unterstützt eine Vielzahl von Auflösungsformaten, einschließlich Submikron-Leistung, und seine hohe Belichtungsgleichförmigkeit kann die Produktivität verbessern und die Schrott- und Nacharbeitskosten reduzieren. AXCELIS/FUSION Summit XT bietet eine Vielzahl von Konfigurationen, um den Anforderungen jeder Photomasken-Anwendung gerecht zu werden. Seine Flexibilität soll Kunden zugute kommen, die ihre Prozesse schnell an sich ändernde Markt- und Prozessanforderungen anpassen müssen. FUSION Summit XT wird von einem umfangreichen Remote-Service-Netzwerk unterstützt, um Spitzenleistung zu gewährleisten. Das Asset verfügt zudem über die umfassendsten Wartungs- und Diagnosefunktionen der Branche und ermöglicht den Zugriff auf wichtige Modellinformationen von jedem Standort aus für eine schnellere und effizientere Diagnose und Reaktion. Das Gerät ist einfach zu bedienen und seine intuitive grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer, schnell auf Funktionen und Funktionen zuzugreifen. Darüber hinaus stehen eine Vielzahl von Optionen und Upgrades zur Verfügung, um Kunden bei der Anpassung von AXCELIS Summit XT an ihre genauen Anforderungen zu unterstützen.
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