Gebraucht AXCELIS / FUSION UV-150PC #9144789 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION UV-150PC
ID: 9144789
Wafergröße: 6"
UV Stabilizer, 6".
AXCELIS/FUSION UV-150PC ist ein Belichtungsgerät, das entwickelt wurde, um effiziente Photolithographieverfahren für die fortschrittliche Geräteherstellung bereitzustellen. Durch die Integration fortschrittlicher Bildgebungstechnologie ist FUSION UV-150PC in der Lage, Qualität und Produktivität in der Photomaskenherstellung, Halbleiter und anderen verwandten Prozessen sicherzustellen. Das Belichtungssystem ist so konzipiert, dass es eine zuverlässige Belichtungsfähigkeit über ein breites Prozessfenster bietet, das den Anforderungen der fortschrittlichen Freiform-Photomasken-Strukturierung entspricht. Es ist die optimale Einheit für die Entwicklung von Photomasken der nächsten Generation sowie für Anwendungen wie Auflösungsverbesserungstechnologien (RET) und Hardmaskenbelichtung. AXCELIS UV-150PC bietet eine Kombination von Merkmalen, die Produktivität und Ertrag verbessern. Seine Autofokusmaschine kompensiert automatisch topographische Unterschiede in einem Substrat, was die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Belichtungswerkzeugs verbessert. Seine Autofokus-Technologie kann Belichtungsdaten digital neu erfassen, um kleinere Fehler während der Expositionsphase zu beheben. Darüber hinaus bietet seine fortschrittliche bildgebende Technik eine hohe Belichtungsrate und Gleichmäßigkeit. UV-150PC verfügt auch über ein integriertes thermisches Management. Mit dem eingebauten Temperiermodell sorgt die Belichtungseinrichtung für konsistente Photomaskenmuster ohne Clipping. Darüber hinaus bietet sein fortschrittliches optisches System optimierte spektrale Gleichmäßigkeit und bietet eine ausgezeichnete Parallelität in der Belichtungsgenauigkeit während des gesamten Belichtungsprozesses. Schließlich sorgt die verbesserte Vakuumarchitektur für eine stabile Bildgebung und eine hervorragende Bildhaltung. AXCELIS/FUSION UV-150PC wurde auch entwickelt, um den Materialverbrauch zu minimieren, und seine optimierte Gittertechnologie hilft, die Partikelerzeugung zu reduzieren. Es verfügt auch über eine konfigurierbare Scaneinheit, die die Scangeschwindigkeit maximiert und Artefakte auf der Photomaske minimiert. Darüber hinaus ermöglicht seine vollständig konfigurierbare Auto-Track-Maschine eine exakte Einstellung der Fokus- und Dosisparameter entsprechend den Anforderungen der Anwendung. FUSION UV-150PC ist ein fortschrittliches Belichtungswerkzeug mit ausgezeichneter Produktivität, Genauigkeit und Effizienz für verschiedene Photolithographie-Prozesse. Die fortschrittliche Bilderzeugungsanlage gewährleistet hochgenaue und präzise Expositionen in einer Vielzahl von Anwendungen, die dazu beitragen können, Materialabfälle zu minimieren und die Erträge zu erhöhen. Sein ausgeklügeltes integriertes Temperaturregelungsmodell kann eine hervorragende Bildqualität bieten, während seine innovative Vakuumarchitektur für optimale Stabilität und Bilderhaltung sorgt. Schließlich sorgen die Hochgeschwindigkeits-Scanfunktionen und die Auto-Track-Ausrüstung für einen hohen Durchsatz und wiederholbare Ergebnisse.
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