Gebraucht AXCELIS / FUSION UV LC-6B #9061093 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION UV LC-6B ist ein hochmodernes, voll ausgestattetes Belichtungsgerät von FUSION. Das System wurde entwickelt, um eine präzise ultraviolette (UV) Lithographie-Exposition bereitzustellen, um den Durchsatz und die Ausbeute zu maximieren. Dieses Gerät eignet sich besonders gut für mittlere bis große Serienumgebungen, da es sehr modular und skalierbar ist. FUSION UV- LC-6B verfügt über eine erweiterte Einrichtungs- und Ausrichtungsoption, die eine überlegene Reduktion und Genauigkeit der Mask-zu-Wafer-Ausrichtung bietet. Dies gewährleistet präzise Belichtungskoordinaten und sorgt für höhere Ausbeute. Die Maschine ist hochautomatisiert und ermöglicht eine minimale Bedienung und ist mit einem Präzisionsstufenantrieb für eine präzise Belichtung ausgestattet. Die Kammergröße ist anpassbar und kann Substrate bis zu einem Durchmesser von 200mm aufnehmen. Das Tool bietet eine fortschrittliche optische Leistung für eine präzise Belichtungssteuerung. Seine UV-einstellbare Blende sorgt für gleichmäßige Beleuchtungsstärke und reproduzierbare Ergebnisse. Die hochentwickelte Reflektortechnologie fördert hervorragenden Snap-In-Komfort, beseitigt Fehlstellungen und reduziert Umrüstzeiten. Der erweiterte Strahlabtastkopf und die automatische Refokusoptik reduzieren die Variabilität der Fokussiertiefe und minimieren die Setup-Optimierung. AXCELIS UV- LC-6B ist in der Lage, Expositionsdosen bis zu 25 mJ/cm2 zu erreichen, was eine hervorragende Auflösung gewährleistet. Die fortschrittliche Batch-Mode-Verarbeitung des Asset eignet sich gut für große Durchsatzsituationen und kann individuell für unterschiedliche Substrat- oder Expositionsdosisanforderungen konfiguriert werden. Eine fortschrittliche Inline-Prozesssteuerung sorgt für maximale Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit, während das patentierte berührungslose Substrat und Zwischenhalter Verschmutzungen verhindern. UV LC-6B wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Automatisierungsbibliotheken zu arbeiten, einschließlich der MultiFab und Temptronic NxStep Bibliotheken. Es ist eine zuverlässige, kostengünstige Lösung für die Strukturierung und kann für konsistente Ergebnisse herangezogen werden. AXCELIS/FUSION UV LC-6B ist mit seiner fortschrittlichen Bildgebungstechnologie und leistungsfähiger Modellsoftware eine ideale Belichtungslösung für die Mittel- bis Hochserienproduktion.