Gebraucht AXCELIS / FUSION UV #9145265 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION UV
ID: 9145265
Wafergröße: 8"
Bake systems, 8".
AXCELIS/FUSION UV ist eine fortschrittliche Ausrüstung zur Belichtung von ultravioletten (FUSION UV) lichtempfindlichen Materialien. Es handelt sich um eine Lithographiemaschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und Wafern. AXCELIS UV-System ist eine Resistbelichtungseinheit, die eine UV-Lampe mit einer Projektionsoptik verwendet, um eine Vielzahl von Belichtungsmustern zu liefern. Die Lampenleistung und Lichtintensität sind einstellbar, um eine genaue Belichtung des Fotolacks zu ermöglichen. Es ist auch mit einer Antireflexionsbeschichtungskammer (ARC) ausgestattet, um Reflexionen von der Resistoberfläche zu reduzieren, was zu einer größeren Bildklarheit führt. Die Maschine verwendet auch einen automatisierten Stepper/Scanner, um eine gleichmäßige Belichtung des Substrats zu gewährleisten. AXCELIS/FUSION UV-Werkzeug ist in der Lage, Belichtungen für eine breite Palette von Photomasken zu produzieren, die von kleinen bis zu großen Mustern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit variieren. Die Anlage ist zudem mit einem fortschrittlichen Topographie-Matcher ausgestattet, mit dem kundenspezifische Belichtungsmuster direkt auf die Oberfläche von Substraten übertragen werden können. Der Stepper/Scanner sorgt für eine präzise und wiederholbare Musterübertragung über mehrere Substrate. FUSION UV-Modell ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Dazu gehören Temperatur- und Sicherheitskammern zum Schutz des Personals vor Kontakt mit hochintensiver AXCELIS UV-Strahlung. Die Sicherheitsverriegelungseinrichtung ist so konzipiert, dass das System sofort heruntergefahren wird, wenn exponiertes Personal den Belichtungsbereich betritt. Das Gerät enthält auch eine Bio-Scanne r, um jeden personellen Zugang in der Vorder- und Rückwand des Belichtungsbereichs zu erkennen. UV-Maschine ist ein zuverlässiges und vielseitiges Belichtungswerkzeug für Lithographie-Prozesse in der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das Asset ist in der Lage, kleinere bis große Bildbelichtung und Mustertransfer mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit zur Verfügung zu stellen. Seine Sicherheitsmerkmale sorgen dafür, dass das Personal vor gefährlicher AXCELIS/FUSION UV-Strahlung geschützt ist. Das fortschrittliche Modell bietet ein effizientes, genaues, automatisiertes und zuverlässiges Werkzeug für Halbleiterlithographie-Prozesse.
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