Gebraucht AXCELIS / FUSION UV #9257126 zu verkaufen

ID: 9257126
System With Integrated UV cure lamp Light hammer Ultraviolet lamp system, 6" Power supply and irradiator included.
AXCELIS/FUSION UV ist eine Hochdurchsatz-Belichtungsanlage, die für den Photolithographieprozess entwickelt wurde, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es verwendet tiefe FUSION UV Excimer Laserlichtquellen mit Wellenlängen von 193 Nanometern, um ultrafeine Eigenschaften mit hoher Wiederholbarkeit zu erreichen. Das System ist in der Lage, Substrate verschiedener Größen und Materialien wie Silizium, SiGe, Quarz oder Glas bis 300 mm zu belichten und ist für hochpräzise Bildgebung optimiert. Darüber hinaus ermöglichen die fortschrittlichen Optik- und Bildgebungstechniken des Geräts eine Auflösung bis in den Nanobereich und Linienbreiten von unter 15 nm. Die Maschine ist in der Lage, maßgeschneiderte Belichtungen bereitzustellen, die auf die Bedürfnisse verschiedener Prozesse zugeschnitten sind, so dass jede Schicht des Substrats genau und präzise belichtet werden kann. Besonders nützlich ist es in den Entwicklungsphasen eines Projekts, das eine flexible Plattform für Prototyping und Erprobung neuer Designs bietet. Das Tool bietet auch Echtzeit-Bildoptimierungstechnologie, die genaue und wiederholbare Belichtungsergebnisse ermöglicht. AXCELIS UV verfügt zudem über einen hochmodernen Asset Controller mit intuitiver grafischer Benutzeroberfläche, der eine einfache Änderung der Einstellungen und Prozessoptimierung ermöglicht. Darüber hinaus kann das Modell in bestehende Fabs integriert werden und ist an die spezifischen Bedürfnisse anpassbar. Die Ausstattung umfasst eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Der Scankopf ist mit einem Sicherheitsschild ausgestattet und das System bietet mehrere Schutzschichten für Personal und Arbeitsumgebung. UV wurde entwickelt, um die Umwelt mit umweltfreundlichen Prozessen und Materialien zu schützen. Das Gerät wurde entwickelt, um den Durchsatz zu optimieren und konsistente Ergebnisse über alle Expositionen zu erzielen. Dies geschieht durch eine Kombination aus hocheffizienter Stromversorgung, fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen und ausgeklügelter Optik. Die verwendeten Laserlichtquellen sind für den Langzeiteinsatz bei minimaler Wartung und stabiler Leistung ausgelegt. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION UV eine effiziente und zuverlässige Belichtungsmaschine, die hochpräzise Bildgebung mit anpassbaren Belichtungsprofilen bietet und einen optimierten Durchsatz bietet. Es ist eine vielseitige und kostengünstige Lösung für jeden Halbleiterherstellungsprozess.
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