Gebraucht COLIGHT 1230 #293589867 zu verkaufen

Hersteller
COLIGHT
Modell
1230
ID: 293589867
Weinlese: 1989
Double side exposure system Power: 3 kW 1989 vintage.
COLIGHT 1230 ist ein Belichtungsgerät für eine Vielzahl von Lithographie- und Verarbeitungsanwendungen bei der Herstellung von Wafern und optischen Komponenten. Das System ist in der Lage, verschiedene Arten von Belichtung wie: Ultraviolett (UV), Sichtbar, Röntgen, Tief Ultraviolett (DUV) und Hochvakuum (HV). Das Gerätedesign ermöglicht eine breite Palette von Belichtungen, die es Anwendern ermöglichen, schnell und präzise eine Vielzahl von Komponenten zu produzieren, darunter Halbleiter, optoelektronische Bauelemente, MEMS und optische Linsen. Die Maschine verfügt über eine 1230mm x 1220mm-Stufe und kann eine Vielzahl von Substraten bis zu 300mm unterstützen. Die Bewegungsmechanik der Stufen besteht sowohl aus Luftlagern als auch aus linearen Synchronmotoren (LSM), die eine konsistente und wiederholbare Bewegungssteuerung bieten. Die hohe Stabilität der Stufe gewährleistet eine gleichmäßige Belichtung über den Wafer. Das Tool nutzt leistungsstarke Controller und eine geschlossene Schleife Feedback-Asset für präzise Strahlpositionierung und Belichtung. 1230 verfügt über eine modulare Architektur mit separaten Modulen für Optik, Beleuchtung und Steuerung. Dieser modulare Aufbau ermöglicht die Installation verschiedener Optik- und Beleuchtungsquellen, um den Anwendungsanforderungen des Anwenders gerecht zu werden. Das Modell kann mit bis zu vier Belichtungsköpfen und einem optionalen Roboterhandler konfiguriert werden. Die Belichtungsköpfe enthalten eine Vielzahl von Optiken und Quellen, darunter Imbert-Friedrich-Beleuchtung, Spektralauswahl, Fourierfilterung, Wiege und Stufenauswahl sowie On-Axis-optische Systeme, wodurch die Geräte für eine Vielzahl von Lithographie- und Verarbeitungsanwendungen geeignet sind. COLIGHT 1230 ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Es verfügt über Sicherheitsverriegelungen, Not-Aus-Tasten und Absperrschutz mit verriegelten Zugangstüren. Es verfügt auch über eine Vielzahl von messtechnischen Funktionen wie Wafer-Mapping, Wafer-Zählung und Sub-Mikron-Ausrichtung, die dem Benutzer eine genaue Kontrolle über seinen Belichtungsprozess bieten. Das System ist benutzerfreundlich, mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche für eine einfache Parametereinstellung und -steuerung. 1230 ist eine hochqualitative Belichtungseinheit, die für Builder von fortgeschrittenen optischen Bauelementen, einschließlich Halbleitern, MEMS-Bauelementen und optischen Linsen, geeignet ist. Es bietet schnelle und genaue Belichtung, um einheitliche und wiederholbare Ergebnisse zu liefern, so dass Anwender qualitativ hochwertige Komponenten schnell und effizient produzieren können.
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