Gebraucht DRC UV-M10 #293642351 zu verkaufen

DRC UV-M10 ist eine leistungsstarke Belichtungsanlage, die für hohe Leistung bei der Herstellung von Halbleiter- und Dünnschichtbauelementen entwickelt wurde. Das System ist hochautomatisiert und integriert drei Schlüsselschritte eines photolithographischen Bearbeitungsablaufs: Substratbeladung, Belichtung und Nachbelichtungsbacken. Der integrierte Workflow führt zu einem effizienten und kostengünstigen Geräteherstellungsprozess. UV-M10 verfügt über eine großflächige kreisförmige Ausrichteinheit mit zwei Tischarmen, die ein effizientes Be- und Entladen des Substrats ermöglichen. Es ist in der Lage, sowohl manuelle als auch automatisierte Fertigung zu handhaben, mit einem breiten Spektrum von Ausrichtungsgenauigkeit abhängig von der Größe des Substrats und der Art der hergestellten Vorrichtung. Darüber hinaus ist die Maschine so konzipiert, dass sie einfach konfigurierbar und nach Kundenwunsch anpassbar ist. Das Belichtungswerkzeug ist mit einem hochauflösenden Projektionsgerät ausgestattet. Das Modell liefert bis zu 40 mJ/cm ² aktinische UV-Energie mit einem Durchsatz von bis zu 1400 Wafern pro Stunde. Es verfügt außerdem über eine lichtabschirmende Einrichtung, die eine gleichmäßige Belichtung des Substrats mit der aktinischen UV-Strahlung gewährleistet, was zu einer gleichmäßigen Mustergröße und einer hohen Homogenität der Endvorrichtung führt. DRC UV-M10 bietet eine breite Palette von PEB-Fähigkeiten (Post-Exposure Bake), einschließlich Temperaturkontrolle, schnelles Kühlen und Trocknen und halbautomatisches Probenhandling. Es wurde entwickelt, um optimale Ergebnisse in Bezug auf Geräteleistung und -ausbeute zu gewährleisten und gleichzeitig Zeit und Energie für die Produktion zu minimieren. Darüber hinaus verfügt das System über einen umfassenden Satz von Software-Tools, mit denen Anwender die Belichtungsparameter und die Substrattemperatur entsprechend den Produktionsanforderungen ihrer Geräte anpassen können. Dies gewährleistet einen zuverlässigen Herstellungsprozess unter Berücksichtigung der Komplexität der herzustellenden Vorrichtungen. Die Software ist auch entworfen, um verschiedene Sicherheits- und Umweltaspekte, wie UV-Strahlungswerte, sowie mögliche Umweltprobleme im Zusammenhang mit dem Herstellungsprozess zu behandeln. UV-M10 ist eine leistungsstarke und effiziente Belichtungseinheit, die eine ideale Lösung für die Herstellung von Halbleiter- und Dünnschichtbauelementen bietet. Der automatisierte Workflow und die fortschrittlichen Funktionen ermöglichen es Herstellern, Hochleistungsgeräte schnell und zuverlässig kostengünstig herzustellen.