Gebraucht DS SEMICON DS 141 #293637840 zu verkaufen

DS SEMICON DS 141 ist eine fortschrittliche automatisierte Waferbelichtungsanlage, die für die Photomaskenbearbeitung in der Herstellung von Halbleiter-IC (Integrated Circuit) entwickelt wurde. Das System eignet sich sowohl für Photolithographie als auch für Asche-/Blasverfahren. DS 141 besteht aus einer Haupteinheit, drei Servomotoren, einem Schrittmotor, einem X/Y-Roboter und anderen Komponenten. Die Haupteinheit des Geräts bietet die Hardware- und Softwaresteuerung des Belichtungs- und Reinigungsprozesses. Es ist verantwortlich für die Steuerung der Schritt- und Servomotoren und des X/Y-Roboters. Der Schrittmotor treibt eine Scheibenfutter-Baugruppe an, die zur Übertragung der Scheiben während der Verarbeitung dient. Die 3 Servomotoren steuern die X-, Y- und Z-Achsbewegungen, die zur Positionierung von Maske und Substrat in der Belichtungskammer verwendet werden. Der X/Y-Roboter überträgt das Substrat während der Bearbeitung von den Lastschlössern in die Belichtungskammer. DS SEMICON DS 141 verfügt über eine hochauflösende Bildverarbeitungsmaschine, die Belichtungen sowohl von der Photomaskenseite als auch von der Waferseite aus verarbeiten kann. Das bildgebende Werkzeug besteht aus einem Retikel- und Wafer-Futter, zwei Imagern und zwei Scanner-Boards, die die Leistung des bildgebenden Vermögenswertes überwachen. Das Retikel wird verwendet, um das Muster auf der Fotomaske zu lokalisieren und kann in der X-, Y- und Z-Achse bewegt werden. Das Wafer-Spannfutter dient zur Aufnahme des Substrats während der Verarbeitung und kann auch in der X-, Y- und Z-Achse bewegt werden. Das Modell ist mit einer Ultrahochvakuumkammer ausgestattet, die verwendet wird, um den Wafer bei niedrigem Vakuumdruck zu belichten, um die Verschmutzung des Substrats zu minimieren. Das Gerät ist außerdem mit einem MFC (Mass Flow Controller), einem Druckregler und einem Ionenmessgerät ausgestattet, das den Druck innerhalb der Belichtungskammer misst. Das System verfügt auch über eine Bestrahlungseinheit, die aus drei Xenon-Lampen mit einer Gesamtleistung von 625 Watt besteht. DS 141 verfügt über eine automatische Prozess- und Datenarchivierungsmaschine, die die Fernbedienung und Überwachung des Belichtungsprozesses ermöglicht. Das Tool bietet auch ein Diagnose- und Fehlererkennungs-Asset, das den Status des Modells in Echtzeit anzeigt. Die Geräte können bis zu 500 Rezepte speichern und bis zu 1.000.000 Wafer pro Prozesszyklus verarbeiten. Schließlich DS HALBBETRÜGERISCHER DS 141 ist ein fortgeschrittenes automatisiertes Oblatenaussetzungssystem, das mit hoher Auflösung Bildaufbereitung, einen extremen Hochvakuumraum, einen MFC und eine Ausstrahleneinheit unter anderen Bestandteilen zeigt, ihn passend für die Fotomaskenverarbeitung und den anderen Halbleiter auf höchster Ebene IC Fertigungsverfahren machend.