Gebraucht ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 #138799 zu verkaufen

ELECTRON VISION/AMAT/APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 ist ein fortschrittliches Expositionsgerät von AMAT, das überlegene Leistung in Lithographie-/Ätz-/Nanofabrikationsanwendungen bietet. Dieses System weist eine Vakuumkammer, eine laserbeleuchtete Projektionseinheit und eine Hochgeschwindigkeits-Scan-Plattform zur Steuerung des Prozesses auf. AMAT EC-30200-AT11 ist in der Lage, den größten Bereich von Waferdurchmessern von 4 Zoll bis zu 8 Zoll (100 mm bis 200 mm) zu unterstützen. Die Maschine verwendet mehrere Photonenlaser, die die Lichtintensität für Lithographie- und Ätzanwendungen präzise steuern können. Diese Laser können hochgleichmäßige Lichtintensität und Hochgenauigkeitsbilder mit einer Auflösung von bis zu 0,25 um/1000 Zeilen/mm erzeugen. Die mit diesem Tool ausgestattete High-Speed-Scan-Plattform ermöglicht es, Photolithographie-Prozesse mit Geschwindigkeiten bis zu 1kHz durchzuführen. Dies ermöglicht einen wesentlich schnelleren Durchsatz bei gleichmäßigerer Prozessgenauigkeit. Das Asset verfügt zudem über ein 256-Zonen-interferometrisches Metrologiemodell, das wiederholbare Messungen und eine präzise Verarbeitung über die Wafer hinweg ermöglicht. ELECTRON VISION EC-30200-AT11 verwendet eine einzigartige Kombination von Spezialgasen und fortschrittlichen Diffusionsmechanismen für eine verbesserte Ätzleistung. Dazu gehören HF-basierte Gase, Gemische aus Fluorkohlenwasserstoffen und Sauerstoff, O2, CF4, CHF3, CF6, CF2, CO2 und andere Spezialgase. Das Gerät verfügt außerdem über ein modernes chemisches Einspritzsystem zur präzisen Kontrolle der pH-Werte und eine automatisierte Gasauswahleinheit zur Anpassung der Oberflächenbedingungen des Gasgemisches. APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 verfügt auch über eine fortschrittliche Automatisierungsmaschine, die Steuerung und Prozessüberwachung bietet. Dazu gehört ein eingebettetes Steuerwerkzeug mit einer Anzeigeoberfläche, mit der Bediener die Prozesse fernüberwachen und anpassen können. Es verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeits-Netzwerkverbindung, um die Datenübertragung und den Austausch zwischen dem Asset-Controller und anderen Geräten zu erleichtern. Abschließend ist EC-30200-AT11 ein hochentwickeltes Expositionsmodell, das hervorragende Leistung in Lithographie-, Ätz- und Nanofabrikationsanwendungen bietet. Durch die Verwendung mehrerer Photonenlaser, einer Hochgeschwindigkeits-Scan-Plattform und einer Vielzahl von Spezialgasen und chemischen Einspritzsystemen liefert dieses Gerät präzise und wiederholbare Ergebnisse für eine breite Palette von Waferdurchmessern. Durch das fortschrittliche Automatisierungssystem können die Betreiber auf Funktionen zur Fernsteuerung und Prozessüberwachung zugreifen.