Gebraucht FUSION G03 #9196371 zu verkaufen

FUSION G03 ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für Halbleiterausrichter und Stepper. Es verfügt über ein selbstfokussierendes 2D-Ausrichtungs-Messsystem für erhöhte Präzision sowie hochpräzise Laserausrichtung und Netzspannung für ausgezeichnete Gleichmäßigkeit. Die Belichtungseinheit ist mit einer hochmodernen automatischen Nivelliermaschine ausgestattet, die eine schnelle, präzise und genaue Nivellierung über den Belichtungsbereich ermöglicht und gleichzeitig eine überlegene Überlagerungsleistung bietet. Das Belichtungswerkzeug ist in der Lage, bis zu 24 "Geräte zu belichten und verfügt über einen hochauflösenden Mustergenerator, der Muster von bis zu 21 µm ermöglicht und 4-Wege-Belichtung ermöglicht. Das Asset verfügt über einen Hochleistungs-LED-Fixierer, der mit Variationsbereichen von bis zu 0,4 µm eine hervorragende Helligkeit und Kontrast bietet und auch Belichtungsschwankungen reduzieren kann. Das Modell ist auch mit einem hochpräzisen dreidimensionalen Scanner ausgestattet, um eine genaue Ausrichtung über mehrere Ausrichter zu gewährleisten, sowie eine Vielzahl von Steuerungsfunktionen wie hochgenaue Ausrichtungsfehlererkennung und Overlay-Anpassung. Darüber hinaus ist die Anlage sowohl für die Geräte- als auch für die Retikelhandhabung vollautomatisch ausgelegt. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Reticle-Typen, wie z. B. Bump-Reticles, und mit einer hochauflösenden Reticle-Klemme ausgestattet. Das System verfügt auch über eine fortschrittliche Messtechnik-Plattform mit einer Vielzahl von messtechnischen Funktionen, einschließlich Rasterelektronenmikroskop (SEM), Atomkraftmikroskop (AFM) Inspektion und optische Inspektion. Die messtechnischen Funktionen sind so konzipiert, dass eine hervorragende Mustereinheitlichkeit und Reproduzierbarkeit für überlegene Leistung gewährleistet ist. Insgesamt ist G03 eine leistungsstarke, fortschrittliche Belichtungseinheit, die für präzise Halbleiterausrichtung und Belichtung entwickelt wurde. Seine Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für Produktionslinien und andere Anwendungen zur Herstellung von Hochvolumen-Halbleitern.