Gebraucht MIDAS MDA-40FA #9358497 zu verkaufen

MIDAS MDA-40FA ist ein hochmodernes Belichtungsgerät, das speziell für eine optimale Waferätzleistung entwickelt wurde. Das System basiert auf der VCR-Technologie (Variable Component Ratio) von MIDAS, die es Anwendern ermöglicht, die erforderlichen Parameter für einheitliche Ätzprofile und hohe Fertigungsausbeuten genau einzustellen. MDA-40FA kombiniert Hochleistungsantrieb von Substraten mit verbesserter Genauigkeit in der Belichtungsabgabe. Mit seiner integrierten PDS (Plasma Deposition Unit) entfällt die Notwendigkeit einer dedizierten Maske und ermöglicht eine schnellere Verarbeitung von Substraten. Die Maschine verfügt über einen 40-Stationen-Rahmen, ein benutzerfreundliches LCD-Touchscreen-Display, eine Hochdruck (6 Torr) -Substratumgebung und eine computerbasierte automatisierte Prozesssteuerung. MIDAS MDA-40FA ermöglicht es Benutzern, eine Vielzahl von Prozessoperationen durchzuführen, einschließlich Mustern, Reinigen, Ätzen und Abscheiden. Es bietet auch die Möglichkeit, eine einschichtige Folie auf dem Substrat abzuscheiden. Darüber hinaus bietet das Tool mehrere Lagermodulmodule an, darunter ein integriertes Nassreinigungsmodul und ein integriertes Plasmaätzmodul. Die Naßreinkammer ist mit einer Niederdruckumgebung zur automatisierten Reinigung ausgestattet, während die Plasmaätzkammer unter atmosphärischen Drücken von bis zu 5 Torr arbeiten kann. MDA-40FA bietet eine integrierte Ansicht der Substratparameter während des Betriebs. Die einzige integrierte Ansicht der Anlage ermöglicht eine genaue Kontrolle und Überwachung verschiedener Parameter, einschließlich Substratdrehzahl, Verschlusszeit und Verschlusswinkel während der Exposition. Das Modell kann auch mit benutzerdefinierten Einstellungen konfiguriert werden, um bestimmte Prozessanforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus ist die automatisierte Steuerung in der Lage, bis zu 25 Prozesse zu speichern und gibt Einblick in die verwendeten Materialien. Darüber hinaus ermöglicht MIDAS MDA-40FA es Anwendern, die Belichtungsdosis genau zu kontrollieren und die Gleichmäßigkeit entlang der Waferkanten aufrechtzuerhalten. Durch sein ausgeklügeltes Design entfällt die manuelle Ausrichtung, wodurch der Durchsatz erhöht wird. Darüber hinaus gewährleistet das System die Genauigkeit der Prozesse durch Temperaturregelung innerhalb der Substratkammer. Zusammenfassend ist MDA-40FA eine Hochleistungs-Belichtungseinheit, die speziell für eine einheitliche Waferätzleistung entwickelt wurde. Mit seiner fortschrittlichen Technologie können Anwender verschiedene Parameter präzise einstellen, um den Durchsatz und den Fertigungsertrag zu steigern. Die integrierte Hochdruckumgebung gewährleistet eine präzise Steuerung der Substratparameter im Betrieb. Darüber hinaus gibt die automatisierte Steuerungsmaschine Einblick in die verwendeten Materialien, wodurch die manuelle Ausrichtung und der steigende Durchsatz entfallen.