Gebraucht NIKON FX-21S #9285711 zu verkaufen

NIKON FX-21S
Hersteller
NIKON
Modell
FX-21S
ID: 9285711
Exposure systems Substrate size: 680 mm x 880 mm.
NIKON FX-21S ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für die höchste Präzision der lithographischen Produktion. Es verfügt über einen integrierten multizonensymmetrischen Belichtungskopf, der große Substrate gleichmäßig belichten kann, mit einem automatischen Dokumentationssystem zur Erfassung des Belichtungsaufbaus und der Ergebnisse. Die Belichtungseinheit verfügt über zwei parametrische Lichtquellen: eine 200W Xenonbogenlampe und eine 300W Metallhalogenidlampe zur gleichmäßigen linearen Stimulation und einen Reflektor mit modularer Optik für drei verschiedene Belichtungszonen. Die Xenon-Quelle wird verwendet, um das konsistenteste und gleichmäßigste Licht zu liefern, und die Metallhalogenidlampe bietet eine fokussiertere Intensität für kleine Bereiche. Diese Kombination von Lichtquellen ermöglicht eine präzise Belichtung jeder der verschiedenen Zonen, wodurch eine genaue Wiedergabe von Photomasken gewährleistet ist. Die optischen Teile der Maschine bestehen aus hochpräzisem Quarzglas und sind vollständig temperatur- und feuchtigkeitspassiv. Darüber hinaus sind sie auf langfristige Reproduzierbarkeit und ein Minimum an Wärmelärm ausgelegt. Die optischen Teile werden auf einer doppelten Hochleistungsachsenüberquerungsplattform für die genaue und genaue Aussetzungsregistrierung und Kontrolle bestiegen. Der Belichtungskopf ist mit zwei Lasermikrometern zur Ausrichtung des Substrats und Kompensation der Umgebungsgrößen integriert. Die Lasermikrometer werden auch für die steuerbare Belichtung sehr kleiner Teile des Photolacks verwendet. Die Mikrometer sind in fünf Parametern einstellbar, was eine präzise Belichtung der Photoresists für verschiedene Prozesse ermöglicht. Für die Registrierungsgenauigkeit und Datenanalyse bietet FX-21S auch ein erweitertes automatisches Dokumentationstool, das verschiedene Setup-Parameter wie Belichtungszeit, Belichtungsbereich, Art und Dauer der Lichtquelle usw. aufzeichnet. Alle Daten werden systematisiert und in leicht abrufbaren Formaten gespeichert und können in verschiedenen Formaten ausgegeben werden. Dieser Vermögenswert sorgt für eine vollständige Rückverfolgbarkeit der Ergebnisse und gewährleistet präzise und wiederholbare Belichtungsergebnisse. Darüber hinaus verfügt NIKON FX-21S über eine intuitive Benutzeroberfläche und eine fortschrittliche Software, die eine einfache Steuerung des Belichtungsprozesses sowie das Lesen und Aufzeichnen der ausgegebenen Daten ermöglicht. Die Schnittstelle ist mit mehreren verschiedenen Sprachen versehen, so dass sie in verschiedenen Teilen der Welt verwendet werden kann. Es bietet auch eingebaute Sicherheitsfunktionen, um den Benutzer bei unerwarteten Ereignissen wie einem Stromausfall zu schützen. Abschließend ist FX-21S ein hochpräzises und zuverlässiges Belichtungsmodell, das für die hochpräzise lithographische Produktion entwickelt wurde. Es ist mit automatisierten Registrierungs- und Kalibriersystemen ausgestattet, um genaue Belichtungen mit konsistenten Ergebnissen zu gewährleisten. Es wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit und Sicherheit zu bieten und gleichzeitig eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche zu bieten.
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